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研究生:林中興
研究生(外文):Lin, Chung Hsing
論文名稱:研究摻雜質對液相沈積二氧化矽膜品質之影響
論文名稱(外文):The Effect on the Quality of Doped Silicon Dioxide by Liquid Phase Deposition
指導教授:李明逵
指導教授(外文):Lee, Ming Kwei
學位類別:碩士
校院名稱:國立中山大學
系所名稱:電機工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:英文
中文關鍵詞:液相沈積液相沈積二氧化矽膜摻雜質
外文關鍵詞:liquid phase depositionLPDdopant
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低溫、優良步階面及選擇性沈積等特性使液相沈積二氧化矽膜在積體電路
製造上有極大潛力。在本論文中,我們探討加入液相摻雜質對二氧化矽膜
的影響,同時亦討論了熱處理對二氧化矽膜電性、化性的改進。在加入磷
方面,經高溫處理可使二氧化矽膜流動而得較平滑之表面形狀。加入鹽酸
方面,可經由加入酸濃度調變平帶電壓,並由其中和金屬離子的效應使反
應速率增加。在氮化方面,由於其對金屬離子的屏障,使二氧化矽膜內所
含金屬離子降低,並降低漏電流及增強崩潰電壓。

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