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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林聖哲
研究生(外文):Lin, Sheng Jer
論文名稱:半導體製程即時監控與診斷專家系統
論文名稱(外文):Real-time Monitoring, Control, and Diagnosis Expert System in Semiconductor Manufacturing
指導教授:陳飛龍陳飛龍引用關係
指導教授(外文):Chen, Fei Long
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程研究所
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
中文關鍵詞:製程監控專家系統知識擷取
外文關鍵詞:Process ControlExpert SystemKnowledge Acquisition
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半導體製造良率是所有生產活動的最終指標,藉由製程即時監控與診斷能
提高半導體生產的良率,目前國內半導體製程監控與診斷仍需要專家以人
工來判斷,人為的判斷不但費時、易發生疏失,且許多經驗累積的知識無
法傳承下來,在另一方面,半導體製程繁多複雜且變動性高,製程即時監
控與診斷不易達成,目前雖然有許多關於製程監控與診斷的研究已提出,
但這些研究都只侷限於某特定製程或方法,對目前半導體業的助益有限。
因此本研究針對半導體製程繁多複雜且變動性高的特性,建立一適用於各
種製程的即時監控與診斷專家系統,並可因應製程的變動動態地修改系統
的知識庫。本系統根據半導體製程監控與診斷知識的特性發展一物件導向
知識表達方法,再依此表達方法設計一知識擷取介面,讓使用者能在生產
前,透過此介面將所有與製程相關的知識建入系統的知識庫中;在生產時
,使用者決定生產製程後,系統從規格資料庫擷取控制參數規格當作監控
之標準依據,並根據規格設定機台,然後透過現場資料的收集,系統能進
行知識的推理與診斷,再依推理與診斷結果做適當的調整,以避免不良品
的產生,提高生產的良率。
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