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研究生:周秀玉
研究生(外文):Chou, Hsiu Yu
論文名稱:半導體光罩生產之電子光束機排程研究
論文名稱(外文):The Scheduling of E-Beam Writer for Semiconductor Mask Shop
指導教授:洪一峰洪一峰引用關係
指導教授(外文):Hung, Yi Feng
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程研究所
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
中文關鍵詞:批量生產排程最大批量大小總延遲時間
外文關鍵詞:Batch ProcessSchedulingMaximum Batch SizeTotal Tardiness Time
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在半導體產業,光罩(mask)為晶圓製造不可或缺的曝光基準,所以良
好的光罩生產管理,才能有好的晶圓的製造管理。滿足交期為晶圓製造的
主要目標,而要滿足晶圓製造的交期必先滿足光罩的交期。所以,本論文
的目的即在研究如何盡量滿足光罩生產的交期,亦即讓其總延遲時間最小
。在光罩的加工流程中,電子光束機其價值昂貴且為主要的瓶頸機台,其
加工特性有三,分別為:1. 批次處理(batch processing);每次多片
同時加工。2. 除整備時間(抽真空)外,批量加工時間為產品加工時間
的總和。3. 不同類別產品不能在同一批量加工。因為批量加工機台、單
一類別或兩類別產品的最小總延遲時間排程研究,藉由瓶頸機台的排程法
則研究,來降低光罩生產時延遲交貨情形,以達到其生產時的主要目標。
由於此最小總延遲時間的排程問題為 NP-hard的問題,所以本論文的重點
在探討有效的啟發式演算法。本論文所研究的問題有兩種,第一種問題假
設產品有加工順序的限制,在此假設下,利用分支界限法求出問題最佳解
,並根據批量加工特性提出數個啟發式演算法,再針對各種產品到期日的
延遲情形及產品比例將啟發式排程方法和最佳解做比較,以分析各個近似
解的優劣及可行性。在第二種問題則無此假設,稱為一般批量生產問題,
由於問題以分支界限法求解時間過長,因此僅針對啟發式演算法做實驗比
較,找出較佳的排程方法。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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