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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:鄭岫盈
研究生(外文):CHENG, Shion-Ying
論文名稱:硒化鋅異質接面PIN光電二極體之研製
論文名稱(外文):The Study and Fabrication of ZnSe Heterojunction PIN Photodiode
指導教授:張忠誠張忠誠引用關係
指導教授(外文):Chang Chung-Cheng
學位類別:碩士
校院名稱:國立海洋大學
系所名稱:電機工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
論文頁數:98
中文關鍵詞:硒化鋅藍光偵測器
外文關鍵詞:ZnSePhotodiode
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本論文研究的主題為藍光偵測器元件方面的研製。採用在室溫 下具直
接能隙的ZnSe為材料,將ZnSe以VPE技術異質磊晶於 Si(111)基板
上,以In為ZnSe的N-型摻雜,進行多種的擴散條件 實驗。所完成的
ZnSe(N+) / ZnSe(N-) / Si(p) 偵測器以 X-ray、SEM討論磊晶品質,以
C-V、I-V等測試元件特性,並 討論擴散參數對於元件特性
之影響。 由實驗結果發現,ZnSe(N+) /
ZnSe(N-) / Si(p) 偵測器在藍 光波段具有較佳之響應度、量子效率
。在趨入時間30分鐘趨入溫 度300℃時,偵測器對波長423nm具有1.057(
A/W)之響應度。另一 方面,本論文所完成之元件係異質磊晶於Si基板,
可配合高度發 展的積體電路製程技術,在同一Si基板上製造出具備高感
度藍光 波段偵測器及相關處理電路的多功能、智慧型偵測器,對於未來
OEIC之發展有莫大潛力。

The main objective of this thesis will concentrate on the
research and fabrication of blue-green PIN photodetectors. In
the process, Hetero epitaxy of ZnSe that posesses direct
energygap 2.68eV under room- temperature is being
carrier out on Si(111) by the utilization of VPE technique.
Subsequently, using In as N-dopant of the ZnSe to carry out a
number of experiments slapped with diffusion conditions. The
films fabricated are analysed in the consequence by using
X-ray and SEM. Besides, the nature of devices is also
being testified using C-V, DLTS and I-V etc. In addition, we
also discuss the influence of diffusion parameters upon the
presentation of the PIN photodetectors. The
experimental results reveal that the ZnSe(n+)/ ZnSe(n-)/Si(p)
PIN photodetectors possessing better response and quantum
efficiency in the range of blue light. As a supplementary,
the devices of hetero- epitaxy on Si substrate as described
in this thesis, combine with the underlying highly developed
Integrated circuit fabrication techniques capable to
fabricate multi-usage, intelligent blue-green photodetectors
on a single Si substrate.Its potential for the future OEIC
development is undoubtly obvious.



QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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