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研究生:江玫玲
研究生(外文):CHIANG, MEI-LIN
論文名稱:利用異核雙金屬化合物[(n5-C5H5)(CO)3WMn(CO)5]為單源前驅物以化學氣相沉積法沉積混雙金屬氧化物薄膜
論文名稱(外文):MOCVD of Mixed-metal Oxide Thin Film By Single Source Precursor [(n5-C5H5)(CO)3WMn(CO)5]
指導教授:吉凱明, 徐新光
指導教授(外文):KAI-MING CHI, SHIN-GUANG SHYU
學位類別:碩士
校院名稱:國立中正大學
系所名稱:化學研究所
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:61
中文關鍵詞:化學氣相沉積混雙金屬氧化物薄膜單源前驅物鎢酸錳
外文關鍵詞:MOCVDThin filmsingle source precursorMnWO4
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提要(中) 本論文主旨是以異核雙金屬化合物[(CO)5MnW(CO)3Cp]為
單源前驅物,利用化學氣相沉積法來沉積混雙金屬氧化物MnWO4薄膜。在
熱重量分析實驗中,前驅物在氧氣及空氣中加熱至900℃所得到殘餘粉末
為MnWO4及WO3混合晶相粉末。在粉末燒結實驗中,前驅物在氧氣及空氣中
鍛燒至600℃及800℃也都得到MnWO4及WO3混合晶相的粉末。將前驅物用熱
壁式高溫爐以不同溫度作化學氣相沉積。在低壓 (250~100mtorr) 無載流
氣体的條件下﹐溫度400℃時可得到鎢錳非晶相薄膜。由SEM剖面圖相可知
﹐沉積速率約為6 埃/分鐘。由SEM及AFM圖相可知薄膜中較大顆粒大小約
為0.1μm﹐較小顆粒為0.03μm。由EDS定量分析可得知薄膜中鎢和錳成分
的比值為1。 將鎢錳非晶相薄膜在氧氣中800℃回火二個小時可以得
到純MnWO4晶相的薄膜。由SEM圖相可知大的晶粒大小為0.27μm﹐小的晶
粒約為0.14μm。由EDS定量分析可得鎢和錳的比例為1:1﹐顯示在回火的
過程中﹐兩金屬仍維持原來非晶相薄膜中的比例。
提要(英) The heterobimetallic organometallic compound (CO)3
CpWMn(CO)5 was used as single-source precursor for the
preparation of mixed-metal oxide MnWO4 thin film by MOCVD in a
horizontal hot-wall reactor.Thermogravimetric analysis(TGA)of
the precursor reveals that the pyrolysis of precursor under air
and O2 produced the mixture of MnWO4 and WO3. This mixture was
also abtained by directly pyrolysis the precursor at 600℃and
800℃under O2 and air. The deposition was carriered out in a
hot-wall reactor at various tempertures. Amorphous film of WMn
was obtained at 400℃under reduced pressure(250~100mtorr)
without carrier gas. The W/Mn ratio of the film was determined
by EDS to be 1:1 showing control of stoichiometry by the
precursor. Growth rate is about 6A/min. After annealing under O2
for 2 hours at 800℃give sharp XRD patterns of polycrystalline
mixed-metal oxide MnWO4 film. The W/Mn ratio of the film was
determined by EDS to be 1:1. The grains size is about 0.27μm to
0.1μm as shown by the SEM and AFM micrographies of the film.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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