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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:許崇仁
研究生(外文):Hsu, Chun-Ren
論文名稱:鍺在矽表面的長晶研究
論文名稱(外文):The Strain Effect on Ge/Si(001) Surface
指導教授:門福國
指導教授(外文):Fu-Kwo Men
學位類別:碩士
校院名稱:國立中正大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:43
中文關鍵詞:應變
外文關鍵詞:StrainSiGe
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摘要 表面週期在垂直z方向被打破後,導致z方向向上的原子被移走而表
面原子產生斷鍵。 對於大部份半導體而言,為了減少表面能量表面的原
子重新鍵結和重新組合而使其鍵產生彎曲伸長或壓縮。 舉一例子:
Si(001)表面的原子重新鍵結後形成兩個原子鍵結在一起的dimer。 由於
表面原子重新鍵結和重新組合而產生表面有方向性的表面應力。 在決定
表面的型態結構上此表面應力扮演一個非常重要的角色。 當鍺原子長
在Si(001)上時由於鍺和矽有著十分大的mismatch因此由mismatch所引起
的應力具有決定性的影響。 所觀查到的2×N的結構是由rebonded
missing dimer形成的dimer rows所組成其成因是可使得各層的應力減緩
lattice mismatch。 我們使用低能電子繞射儀(LEED)在外加的應變下
去觀測Ge/Si(001)的表面。 而且我們應用AVMJ[6]的理論去計算不同的Ge
coverages的表面應力。 我們也研究其他的表面性質如表面原子的運動
等....。

iABSTRACT The surface periodicity is broken in the
surface normal direction, i.e. , the z direction, as the result
of missing atoms on the vacuum side of the surface. This
interrupted periodicity creates broken bonds. In order to
minimize the surface free energy, the surface atoms rebond at
the cost of bond bending and stretching for most semiconductors.
As an example, the surface atoms rebond to form dimers on the
Si(001) surface. This surface atom rebonding, or
reconstruction, generates anisotropic surface stresses in
inequivalent crystallographic directions. This stress
anisotropy plays a crucial role in determining the surface
morphology. When Ge atoms are deposited on a Si(001)
surface, the mismatch-induced stress has crucial influences on
the initial growth of Ge film due to the rather large lattice
mismatch of 4.3% between Si and Ge. The observed 2*N overlayer
structure consists of rebonded missing dimer rows which are
responsible for the relief of the overlayer stress resulting
from the lattice mismatch. We have used Low Energy
Electron Diffraction (LEED) to investigatethe Ge/Si(001) surface
under externally applied stress. We have utilized the AVMJ[6]
theory to calculate the surface stress anisotropy for different
Ge coverages. We have also studied other surface properties
such as the diffusion kinetics of surface atoms.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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