臺灣博碩士論文加值系統

中文摘要快速精密定位在今日工業界已經是不可或缺的要求。如半導體、
微機電技術等，都充分採用快速精密定位，以提高產量及精度。因此本研
究的重點之一為研究快速精密定位。為了在加工玻璃、陶瓷等硬質材料時
，能有較好的表面粗糙度。必須以低的進給率（5.4mm/min到127.8mm/min
），使材料由脆性破壞轉為延性破壞，以得到較好的表面粗糙度。因此如
何使滾珠螺桿在低速進給時可以很穩定的前進，為本研究的另一重點。滾
珠螺桿為了要消除背隙問題，故施加預壓來消除背隙及增加剛性。但是預
壓過大又會導致摩擦力變大。因此本研究設計一預壓調整機構，一來在定
位時調變滾珠螺桿預壓，另一方面則可用於定位微調。在利用滾珠螺桿進
行粗調定位時，其控制器是使用傳統PID控制器及IP控制，其定位精度需
達到1mm，在切換給壓電致動器進行定位微調，到達精度為0.1mm。

AbstractHigh speed precise positioning is very important
technology in industry. To improve accuracy and to increase
products, like semiconductor and MEMs technology, high speed
precise positioning is used. So the goal of this research is
high speed precise positioning.There is a backlash program in
ballscrew, so if we want to eliminate backlash and increase
stiffness, we get preload to ballscrew. But the preload is high
so that the friction is increase. So we design a preload tuning
machine to change preload of ballscrew and fine tuning of
positioning.The coarse positioning using ballscrew , the
controller is used the traditional PID controller and IP
control, and the position accuracy is up to 1 mm, and change to
piezoactuator to fine tune and the position accuracy is up to
0.1mm.