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研究生:劉進明
研究生(外文):Liu, Ching Ming
論文名稱:Cz矽晶經低溫-高溫二階段退火熱處理微觀結構變化
論文名稱(外文):The Variation of Microstructure in Cz Silicon Induced by Low- High Two Step Annealing
指導教授:貢中元, 歐陽浩
指導教授(外文):Kung Chung Yuan
學位類別:碩士
校院名稱:國立中興大學
系所名稱:材料工程學研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:60
中文關鍵詞:二階段熱處理、微結構缺陷、氧凝聚物群、疊差、盤狀氧凝聚物
外文關鍵詞:A-Swirl 缺陷、two-step anneal、microdefect、A-Swirl defect、precipitate cluster、stacking fault、platelet precipitate
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本篇論文

This thesis describes the defect microstructure

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