一、簡介
1.1 前言
1.2 文獻回顧
1.3 研究方向
二、實驗方法與步驟
2.1 薄膜的製作
A. 準備材料
B. 清洗基板
C. 蒸鍍薄膜
a. 製程設備
b. 蒸鍍方法
2.2 薄膜性質的量測
A. α－step的量測
B. 光譜儀的量測
C. 感應耦合電漿－原子發射光譜分析儀的量測
D. X射線繞射分析儀的量測
E. 穿透式電子顯微鏡的觀察
F. 微差掃描式卡計的量測
三、結果與討論
第一部分 In-Te二元合金
A. 試片的選取
B. 薄膜厚度的量測結果
C. 光譜儀的量測結果
D. X-ray繞射的量測結果
E. DSC的量測結果
F. TEM的量測結果
第二部分 Sb-Te二元合金
A. 試片的選取
B. 薄膜厚度的量測結果
C. 光譜儀的量測結果
D. X-ray繞射的量測結果
E. DSC的量測結果
F. TEM的量測結果
四、結論
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