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研究生:曾子峰
論文名稱:緩衝層對鐵電陶瓷薄膜特性的影響
論文名稱(外文):Effect of buffer layers on the characteristics of ferroelectric ceramic thin films
指導教授:劉國雄劉國雄引用關係林諭男林諭男引用關係吳泰伯
指導教授(外文):Chih-Chen Tang Wei-tien Tsai
學位類別:博士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:222
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封面
目錄
第一章 緒論
1.1 前言
1.2 鐵電材料及其特性
1.3 鈣鈦礦與燒綠石結構
1.5 鈦酸鍶(SrTiO3)材料結構與特性
1.6 鎳酸鑭(LaNiO3)結構與性質
1.7 釕酸鍶(SrRuO3)結構與性質
1.8 鐵電陶瓷薄膜
1.10 緩衝層
1.11 電極材料
1.12 鐵電陶瓷薄膜之製作
1.13 脈衝雷射剝鍍
1.14 探討主題
參考文獻
第二章 實驗方法與薄膜性質量測
2.1 脈衝雷射剝鍍設備
2.2 靶材的製作
2.3 基板的製備
2.4 脈衝雷射剝鍍
2.5 薄膜的性質的分析
2.6 薄膜的特性量測
參考文獻
第三章 SrTiO3對於Pb1-xLaxTi1-x/4O3薄膜與Pb1-xLax(ZryTi1-y)1-x/4O3薄膜的緩衝效果
3.1 簡介
3.2 實驗
3.3 SrTiO3對PLT薄膜的緩衝效果
3.4 SrTiO3對PLZT薄膜的緩衝效果
3.5 鍍膜氧壓對PLT薄膜的影響
3.6 結論
參考文獻
第四章 (La0.5Sr0.5)CoO3層及白金層對Pb1-xLaxTi1-x/4O3薄膜生長行為的影響
4.1 簡介
4.2 實驗
4.3 結果與討論
4.4 結論
參考文獻
第五章 Pb1-xLax(ZryTi1-y)1-x/4O3薄膜成長於LaNiO3緩衝層之特性研究
5.1 簡介
5.2 實驗
5.3 LaNiO3薄膜的生長行為
5.4 PLZT薄膜在LaNiO3上的生長行為
5.5 結論
參考文獻
第六章 不同金屬電極鍍SrRuO3陶瓷對Pb1-xLax(ZryTi1-y)1-x/4O3薄膜特性之影響
6.1 簡介
6.2 實驗
6.3 LaNiO3、 PLZT/LaNiO3薄膜SIMS討論
6.4 SrRuO3薄膜在不同金屬電極的成長
6.5 PLZT薄膜在SrRuO3基板的成長
6.6 SrRuO3、 PLZT薄膜之SIMS特性討論
6.7 PLZT/SrRuo3薄膜電性
6.8 討論
6.9 結論
參考文獻
第七章 綜合討論
7.1 緩衝層對於鐵電薄膜成長的助益
7.2 緩衝層對於鐵電薄膜的緩衝效果
7.3 雙層電極對於鐵電薄膜電性影響之比較
7.4 結論
第八章 未來展望
Publication List
作者簡歷
含參考書目
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