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研究生:方中
研究生(外文):Fang, Chung
論文名稱:側向振動微結構體之流體阻尼模式
論文名稱(外文):Viscous Dissipation Energy Model for Laterally Driven Oscillating Microstructure.
指導教授:李雨李雨引用關係---
指導教授(外文):Lei Uei
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:應用力學研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:106
中文關鍵詞:微機電系統側向振動能量損失流體阻尼模式
外文關鍵詞:MEMSlaterally oscillatingdissipation energydissipation energy model
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本文對在微機電系統(MEMS)中之側向振動微結構體(Laterally
driven oscillating microstructure)中流場做了詳細的數值分析,並計算
其振動時周遭流體因摩擦所消耗之能量及系統之特性因數(Quality Factor)。
經與前人理論(Cho(1994))及實驗結果(Tang(1990))比較,特性因數之
誤差比實驗結果高出15∼25﹪,比Cho之結果高出1.5倍。雖然就特性因數而言,
本聞知結果略遜於Cho者,但Cho之流場型態出現不連續的區域,而本文所得到的
流場則是連續的。另本文也提出了流場速度連續的兩個模式,可方便並精確(相
對於數值解言)地估算特性因數。
本文另就流場溫度與稀薄氣體的效應對系統能量損失與特性因數的影響作
了評估,結果顯示溫度效應是重要的。經由本文的研究,希望能對將來微機電系
統在應用到此種側向振動微結構體時,在製作前的分析與製作後的處理上能有一
定的幫助。

The present study investigates the ambient fluid situation for the laterally
driven oscillating microstructure , which is frequently used in MEMS. We also
investigate fluid viscous dissipation and the quality factor of the present
microstructure. We obstain a more reality and meanful result in compare with
Cho's and experiment result. According to the present study, one can easily
evaulate the dissipation energy and the quality factor of this microstructure.
Besides the flow situation, we also investigets the tempature and rarefied gas
effect. the result shows that when using this microstructure, the tempature
effect will influnce the quality factor and the dissipation energy.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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