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研究生:蔡坤諭
研究生(外文):Cai, Kun-Yu
論文名稱:深次微米三軸精密定位平台之伺服設計
論文名稱(外文):Servo System Design!of a High-Resolution Piezo-Driven 3 Degree- of-Freedom Fine Stage for Inuegrated-Circuit Wafer Suep-and- Repeat Lithography Systems
指導教授:顏家鈺顏家鈺引用關係
指導教授(外文):Yan, Jia-Yu
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:機械工程研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:165
中文關鍵詞:步進器半導體設備微定位平台多自由度最佳控制雷射干涉儀機械工程工程
外文關鍵詞:stepperpiezoflexureintesferometersubmicronmimoMECHANICAL-ENGINEERINGENGINEERING
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Most semi-conductor process stepper uses a dual stage control
to achieve both large stroke and high precision motion. The
fine-stage of the stepper compensates for the resolution of the
coarse stage servo. In this design, the stepper fine-stage is to
adjust the semi-conductor wafer position and orientation to a
close to 10nm positioning accuracy with a 10m motion stroke. The
stage uses a three sets of piezo-electric actuator to adjust the
x, y positioning and q orientation. The servo controller
positions and orients the stage to meet the specification. A
multi-variable system identification process indicates that
there is a serious coupling among the system dynamics in
different degrees of freedom. In addition, the actuators possess
a non-linear hysteresis effect. A decoupling controller design
based upon the linear-quadratic gaussian design is modified to
overcome the actuators'' hysteresis. The experimental results
show that the resultant control achieves a satisfactory
performance.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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