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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳盈璋
研究生(外文):Chen, Yin-Chang
論文名稱:微光學平板之研製
論文名稱(外文):The Manufacture of Micro Optical Plates
指導教授:康尚文
指導教授(外文):Shung-Wen David Kang
學位類別:碩士
校院名稱:淡江大學
系所名稱:機械工程學系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1997
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:69
中文關鍵詞:微光學平板濕蝕刻
外文關鍵詞:(100)矽晶片micro optical plate(100)silicon waferwet etching
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微機電系統MEMS(Micro Electro-Mechanical System),是一門快
速成長的新科技研發領域,從1987年提出至今,已引起全世界研究團體廣
泛的注意。一般相信微機電系統將是緊隨於VLSI之後的主要高等技術,對
於一個國家之經濟及生活水準的衝擊,將不亞於甚至大於微電子及積體電
路。微細精密製造方法使機械加工範圍縮小到微米級,利用照相印刷蝕刻
、X光印刷蝕刻、鑽石刀加工、微放電加工等加工方法,已可製造出許多
微細結構。80年代以來,半導體工業已成為世界上強勢的產業,伴隨半導
體業的發展也同時引進了許多可供其他工業利用的製造方法,其中濕蝕刻
法(Wet Etching)是種相當成熟且精密的加工法。由於經過蝕刻後的表面
可得一近乎鏡面的標準,極適合應用於光學設備的零組件上。45度鏡面可
使光束的入射角完全相同於反射角,則光可以平行的進出於此鏡面上,此
時光和壁、光和光之間會達到最佳的耦合效果(coupling)。本研究利用濕
蝕刻技術,以光罩的偏移配合氫氧化鉀加異丙醇(KOH/IPA);鄰苯二酚加
乙二銨(EDP)等蝕刻液在(100)矽晶片上研發一佈滿45度30微米邊長之正方
形微光學平板,此平板可應用於液晶投影顯示器(LCD)中之反射鏡面。關
鍵詞:微光學平板,微鏡面,濕蝕刻,(100)矽晶片。
The study applies the wet anisotropic etching to fabricate
micro optical plate which has the potential application areas
such as LCD reflecting mirror and optical fiber alignment.
Whenever light reflections are utilized, a angle is of great
benefit.The objective of this research is to form mirrors
because of its effect coupling.In this work,technique to achieve
mirror plane on (100) silicon is studied, using the wet
anisotropic etchants EDP and KOH. This research will help
develop the micro optical technology and reduce the production
cost of micro optical plate. Besides the technology, also pave
the way for the development of complicated optical structures.
The influences on the roughness of the etched silicon surfaces
by changing the of etchant are also discussed,because the
results show that the concentration and temperature of the
etchant,the posure of the wafer,and the etching time all have
influences on the surface roughness.key word:micro optical plate
,wet etching,(100) silicon wafer.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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