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研究生:黃新員
論文名稱:熱輻射在高速熱處理中對晶圓溫度之影響
論文名稱(外文):The Effect of Thermal Radiation on Wafer Temperature Distribution during Rapid Thermal Processing
學位類別:碩士
校院名稱:元智大學
系所名稱:機械工程學系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
畢業學年度:85
語文別:中文
論文頁數:97
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