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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:潘煥
研究生(外文):Pan, Huan Kuen
論文名稱:微機電系統光罩圖形曝光位置控制之研究
論文名稱(外文):Study of Exposure Position Control of the Mask Maker for Micro- Electro-Mechnical Systems
指導教授:林裕城林裕城引用關係
指導教授(外文):Y.C.Lin
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:工程科學系
學門:工程學門
學類:綜合工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:105
中文關鍵詞:微機電系統電腦輔助設計與製造光罩光罩曝光光罩製造機定位平台
外文關鍵詞:MEMSCAD/CAMMaskMask ExposureMask MakerControl Station
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利用電腦輔助設計與製造 ( CAD/CAM ) 的技術發展應用於微機電系
統效率高、具實用性且功能強的光罩圖形曝光機台。其原理是利用光源產
生器與高精度控制平台的組合以構成硬體架構。另則撰寫轉換程式將
AutoCAD繪出之光罩圖形資料轉成資料庫形態並設計定位平台的控制程式
來控制光罩機,以此在光罩上光刻微機電系統微米級解析度的圖形,完成
光罩上圖形曝光的工作。 在本文中將描述光罩曝光機台研發過程
中,包括了各部機件如紫外光光學顯微鏡、雷射裝置、線性滑軌、三軸控
制卡等的規格與精確度、原始設計理念、視窗程式的規劃與撰寫的方式、
及軟硬體裝置的設定。 目前的研究成果包括: (1)微米級方形光罩
圖形、(2)微米級圓形與環形光罩圖形、(3)微米級弧形光罩圖形等,本文
將逐一的討論其原始圖形資料、控制流程、圖形軌跡模擬、圖形轉換之演
算方程及曝光機台實際操作與製造。

This study aims to develop a low cost, practical and
powerful mask writer for MEMS by the technique of CAD/CAM to
generate the pattern on the mask for fabrication process of
MEMS. The hardware framework of mask writer mainly consists of
an UV optical generator and a high precision linear slide
station. In addition, transformation program, which converts the
mask pattern data drawn by AutoCAD, and X-Y-Θ station driving
code are programmed to control the moving speed and exposure
time to accurately achieve the resolution in micrometer level.
In this study, collecting the data of the equipment, such as UV
optical microscope, laser, linear slider station, and PMC
control card, calculating the precision, describing the original
design concepts and the window program,and setting the software
and hardware equipment are all included. The current
study completions are as the following: (1) micrometer square
mask pattern, (2) micrometer circle mask pattern, (3) micrometer
arc mask and so on. The original pattern data, control process,
pattern track imitation, the program of transformation pattern,
the actual operation, and manufacture of exposure machine will
all be discussed specifically in the following text.

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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