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研究生:連崇恩
研究生(外文):lian, Chong-En
論文名稱:攜帶氣體組成成份對MCVD製程的影響
論文名稱(外文):Effects of Carrier Gas Composition on MCVD Process
指導教授:王振源王振源引用關係
指導教授(外文):Y. -C. Chao
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:航空太空工程學系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:80
中文關鍵詞:攜帶氣體
外文關鍵詞:Carrier GasMCVD
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本文的目的在探討在光纖的製程(MCVD)中,不同攜帶氣體組成成份對堆積
效率之影響。由於MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition)製程乃是
一結合熱流與化學反應之複雜問題,所以本文所考慮的,為一包含了變物理
性質,不同的攜帶氣體(氦氣與氧氣),熱幅射效應, SiCl4之氧化反應,以及
主流場的質量變化之二維流問題,而本文的重點,在探討加入氦氣當做攜帶
氣體時,對整個MCVD製程的影響。根據本文模擬的結果可知,加入氦氣後,
會降低整個主流場的thermaldiffusivity值,而此一改變乃為對其他性質
影響的主因。較低的thermal diffusivity值會降低流場熱傳的效果,而在
反應發生時,維持住因反應熱所產生的局部高溫,進而導致周圍氣體可再繼
續發生反應,因此可提高SiO2粒子之生成率。另一方面,局部性的高溫也有
助於增大高低溫區的溫差,加強了熱泳動(Thermophoresis)的力量,可導致
堆積效率的增加。所以整體說來,加入氦氣會增加總堆積效率。
MCVD proccess is the major process of the production ofoptical
fiber. Many theoritical studies had been devotedin from 1970''s.
With the improvement of the process, suchas the displacements of
carrier gases, depositive mechanism,and laser beam enhanced,
etc.,more and more phonemenonsshould be concerned. The subject
of this work is to form ageneralized idea of how the carrier gas
composition affectsthe mechanism, and togive useful advices in
the choice ofcarrier gas compositions. Because we focus our
project onqualitaty analysis, it is ecomonic to simulate our
researchas two dimensional problem. Thus, we can briefly state
ourwork as what includes the variable properties,
aerosolradiation, two-phase flow, variable carrier gas
compositions(Helium and Oxygen), and oxidation of SiCl4.
According to our investigation, we find that the
thermaldiffusivity of carrier gas introduced is the major cause
ofdifferent deposition efficiency. Low thermal diffusivitytends
to hold the locally high temperature, which can creatmore
reactions and induce higher temperature gradient inthe reaction-
cooling region. That is, with the carrier gasof low thermal
diffusivity, the total deposition efficiencycan be effectively
promote with the increase of reactionefficiency and deposition
efficiency (higher temperaturegradient).
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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