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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:李素茹
研究生(外文):Lee, Su Ju
論文名稱:鎢氧化物(WOx)薄膜製備及其光譜性質研究
論文名稱(外文):Preparation and Optical Properties of Tungsten Oxide Thin Films
指導教授:廖學誠廖學誠引用關係
指導教授(外文):Sok-Shing Liu
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:資源工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:61
中文關鍵詞:電致色變三氧化鎢
外文關鍵詞:electrochromictungsten oxide
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為尋求較為簡易製備W電致色變(electrochromic)薄膜之方法,本研究利
用操作簡單、且成本較低的液相沉積法製備WO3薄膜,探討不同製程條件
對薄膜成長的影響,並利用霍氏轉換紅外光譜儀(FT-IR)進行在中紅外光
區及可見光區的樣品光譜性質量測及解析,最後,測試所製備薄膜之電致
色變性質。實驗結果顯示:利用液相沉積法製備之樣品有明顯之電致色變
效應,由浸鍍液分離出來的膠體粉末經XRD相鑑定結果為六方晶系之WO3
.0.33H2O。藉控制反應物濃度、浸鍍方式和浸鍍時間,可獲得所需厚度
且均勻的薄膜;浸鍍液中添加酒精較完全添加水之分散性佳,聚團顆粒較
小,對基材的附著力較高,可形成完整且均勻之鍍膜;熱處理可使薄膜更
緻密,結晶性增加,提高可見光穿透率,400℃和500℃熱處理後之樣品
,500nm處之可見光穿透率較室溫乾燥樣品提高22%。熱處理溫度也影響鍍
膜之電致色變性質,400℃熱處理樣品之電致色變效果最佳,500℃熱處理
樣品反而變差,因薄膜結晶性增加,離子不易進出,導致導電性變差。

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