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研究生:黃國貞
研究生(外文):Hwang, Gwo-Jen
論文名稱:三電極矽電容式壓力感測器及光纖反射式測微器
論文名稱(外文):Three-Electrode Silicon Capacitive Pressure Sensor
指導教授:張國明
指導教授(外文):Chang Kow-Ming
學位類別:博士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:131
中文關鍵詞:壓力感測器測微器
外文關鍵詞:pressure sensordisplacement micrometer
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Cover
Chinese Abstract
English Abstract
Acknowledgement
Contents
Table Captions
Figure Captions
Chapter 1 Introduction
1.1 Background
1.2 Objectives and Organization of the Thesis
Chapter 2 Three-Electrode Silicon Capacitive Pressure Sensor
2.1 Sensor Design
2.2 Sensor Fabrication Process
2.3 Fabrication Considerations and Analysis
2.4 Pressure Performance of Sensor
Chapter 3 Fiber-Optic Reflective Displacement Micrometer
3.1 Theory
3.2 Experimental Setup
3.3 Experimental Results
Chapter 4 Conclusions and Future Work
4.1 Conclusions
4.2 Future Work
References
Tables
Figures
Resume
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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