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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:詹育鈞
研究生(外文):Zhan, Yu-Jun
論文名稱:熱導型微加速度計之特殊結構與製程
論文名稱(外文):Special Structure and Process of Thermal Conductivity Type Micro Accelerometer
指導教授:謝正雄謝正雄引用關係黃凱風
指導教授(外文):Xie, Zhang-XiongHuang, Kai-Feng
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
中文關鍵詞:熱導型微加速度計浮板結構微間距特殊之矽正向異方蝕刻技術
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本論文主旨為製作新型浮板結構以為熱導型微加速度計之用。運用特殊之矽(111)
正向異方蝕刻技術,製作微間距的浮板結構,其材料是以抵應力之富矽氮化矽為結
構層,白金(Pt)為感測電阻,黃金(Au)為重錘。其中並設計三種浮板支腳結構,以
做為提升元件靈敏度之參考,最後探討何種浮板支腳結構適合製作大面積之熱導型
微加速度計。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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