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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:洪民政
研究生(外文):Hung, Min-Cheng
論文名稱:兼具可溶與感光特性之聚亞醯胺合成與物性研究
論文名稱(外文):Studies on the soluble and photosensitive characterizations of polyimide:synthesis and physical properties
指導教授:胡德胡德引用關係
指導教授(外文):Andrew Teh Hu
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學工程學系
學門:工程學門
學類:化學工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:103
中文關鍵詞:聚亞醯胺
外文關鍵詞:polyimide
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本論文合成了雙乙炔感光性單體1,6-diamino-1,1,6,6-tetraethyl-2,4-
hexadiyne(DATEHDY),利用此單體,我們合成了含雙乙炔結構之聚亞醯胺
。並對其成膜性、可溶性、感光性、介電性、吸水性、熱性質、機械性質
與氣體分離性等方面作研究,以期能作為一多功能高分子材料之基材。
由研究結果得知,當DATEHDY在聚亞醯胺中之莫耳比為0.125時,具有成膜
性,且可溶入數種溶劑,可提高聚亞醯胺之加工性。又此含雙乙炔感光單
體之聚亞醯胺其UV吸收波長為200~260nm(deep UV),具有吸收短波長之優
點,其雙乙炔部分曝光交連後不溶率為40%。此外,還可以r-ray曝光,曝
光交連後不溶率為65%,且r-ray具有更短之波長(5*10-6 nm),若未來能
當作光阻曝光之光源,依據光學解析程式,r-ray之極短波長將可提供無
比之解析力。而且經過測試,曝光後其熱性質、機械性質、介電性質與吸
水性等均較曝光前更佳。另外,在氣體分離性方面,還發現了此含雙乙
利用上述雙乙炔之多項特性,並配合聚亞醯胺特有之高耐熱性質、機械性
質,耐化學藥品性等,希望可得到一多功能之高分子材料,以期能很容易
的針對不同之使用需求作改質。
本論文合成了雙乙炔感光性單體1,6-diamino-1,1,6,6-
tetraethyl-2,4-hexadiyne(DATEHDY),利用此單體,我們合成了含雙乙
炔結構之聚亞醯胺。並對其成膜性、可溶性、感光性、介電性、吸水性、
熱性質、機械性質與氣體分離性等方面作研究,以期能作為一多功能高分
子材料之基材。 由研究結果得知,當DATEHDY在聚亞醯胺中之莫耳比
為0.125時,具有成膜性,且可溶入數種溶劑,可提高聚亞醯胺之加工性
。又此含雙乙炔感光單體之聚亞醯胺其UV吸收波長為200~260nm(deep UV)
,具有吸收短波長之優點,其雙乙炔部分曝光交連後不溶率為40%。此外
,還可以r-ray曝光,曝光交連後不溶率為65%,且r-ray具有更短之波
長(5*10-6 nm),若未來能當作光阻曝光之光源,依據光學解析程式,r-
ray之極短波長將可提供無比之解析力。而且經過測試,曝光後其熱性質
、機械性質、介電性質與吸水性等均較曝光前更佳。另外,在氣體分離性
方面,還發現了此含雙乙 利用上述雙乙炔之多項特性,並配合聚亞醯
胺特有之高耐熱性質、機械性質,耐化學藥品性等,希望可得到一多功能
之高分子材料,以期能很容易的針對不同之使用需求作改質。

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