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本論文合成了雙乙炔感光性單體1,6-diamino-1,1,6,6-tetraethyl-2,4- hexadiyne(DATEHDY),利用此單體,我們合成了含雙乙炔結構之聚亞醯胺 。並對其成膜性、可溶性、感光性、介電性、吸水性、熱性質、機械性質 與氣體分離性等方面作研究,以期能作為一多功能高分子材料之基材。 由研究結果得知,當DATEHDY在聚亞醯胺中之莫耳比為0.125時,具有成膜 性,且可溶入數種溶劑,可提高聚亞醯胺之加工性。又此含雙乙炔感光單 體之聚亞醯胺其UV吸收波長為200~260nm(deep UV),具有吸收短波長之優 點,其雙乙炔部分曝光交連後不溶率為40%。此外,還可以r-ray曝光,曝 光交連後不溶率為65%,且r-ray具有更短之波長(5*10-6 nm),若未來能 當作光阻曝光之光源,依據光學解析程式,r-ray之極短波長將可提供無 比之解析力。而且經過測試,曝光後其熱性質、機械性質、介電性質與吸 水性等均較曝光前更佳。另外,在氣體分離性方面,還發現了此含雙乙 利用上述雙乙炔之多項特性,並配合聚亞醯胺特有之高耐熱性質、機械性 質,耐化學藥品性等,希望可得到一多功能之高分子材料,以期能很容易 的針對不同之使用需求作改質。 本論文合成了雙乙炔感光性單體1,6-diamino-1,1,6,6- tetraethyl-2,4-hexadiyne(DATEHDY),利用此單體,我們合成了含雙乙 炔結構之聚亞醯胺。並對其成膜性、可溶性、感光性、介電性、吸水性、 熱性質、機械性質與氣體分離性等方面作研究,以期能作為一多功能高分 子材料之基材。 由研究結果得知,當DATEHDY在聚亞醯胺中之莫耳比 為0.125時,具有成膜性,且可溶入數種溶劑,可提高聚亞醯胺之加工性 。又此含雙乙炔感光單體之聚亞醯胺其UV吸收波長為200~260nm(deep UV) ,具有吸收短波長之優點,其雙乙炔部分曝光交連後不溶率為40%。此外 ,還可以r-ray曝光,曝光交連後不溶率為65%,且r-ray具有更短之波 長(5*10-6 nm),若未來能當作光阻曝光之光源,依據光學解析程式,r- ray之極短波長將可提供無比之解析力。而且經過測試,曝光後其熱性質 、機械性質、介電性質與吸水性等均較曝光前更佳。另外,在氣體分離性 方面,還發現了此含雙乙 利用上述雙乙炔之多項特性,並配合聚亞醯 胺特有之高耐熱性質、機械性質,耐化學藥品性等,希望可得到一多功能 之高分子材料,以期能很容易的針對不同之使用需求作改質。
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