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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:吳宜靜
研究生(外文):Wu, Yi-Chin
論文名稱:低介電材料之氮氣電漿表面處理及銅金屬在其中擴散機制之研究
論文名稱(外文):The study of copper diffusion on low k material treated by N2- plasma
指導教授:張錫強
指導教授(外文):Chang Si-Chung
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學系
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:1
中文關鍵詞:擴散氮氣電漿處理
外文關鍵詞:CudiffusionN2-plasma treatment
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