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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:許正儀
研究生(外文):Sheu, Cheng-Yi
論文名稱:閃爍體碘化銫薄膜製備及其發光量測
論文名稱(外文):Fabrication the scintillation(CsI) thin film
指導教授:李志浩李志浩引用關係
指導教授(外文):Chlee Chih-Hao
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工程與系統科學系
學門:工程學門
學類:核子工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:86
中文關鍵詞:閃爍體碘化銫繞射發光蒸鍍
外文關鍵詞:scintillatorCsIdiffractionluminescencedeposition
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CsI是一種閃爍體,它可以將輻射線轉換成可見光,如再配合後面之電子
化儀器,即可成為影相偵檢器。影相偵檢器除了要考慮其發光強度外還要
考慮 其空間解析度及薄膜均勻性。本實驗則是以真空蒸鍍製造
CsI(Na)薄膜,希望其 具有良好的發光強度及薄膜性,可以跟
CsI(Na)單晶匹配。實驗中可知,當真空 蒸鍍過程中,所有條件
都可掌控的情況下,薄膜會形成(100)晶面的柱狀結構, 搖擺曲
線比單經仍大甚多,但薄膜發光強度可以跟單經相互匹配,當吸收劑量
為每秒1雷的時,可發出1燭光的可見光,且光電二極體的靈敏度為每
秒0.03 雷得,當吸收超過每秒0.03雷得時,會增加雜訊,如
對可見光而言,則可產生 1.7x10-4燭光的可見光。CsI(Na)薄膜
,當其具有柱狀結構時,不僅可以增加光強 度,還可以因為不會使
光子散開,而失去契合性,因此空間解析度可以大大改 善,相
對的,單晶因為沒有柱狀結構,所以光子會成等向性散開,使的失去空
間解析度。另外因為此薄膜主要是希望將其運用在影相應用上,因此薄膜
的均 勻性也很重要,薄膜厚度要均勻,且不可出現龜裂,又要
易出現柱狀結構,但 因基板與CsI的膨漲係數的不一樣,因此要
使薄膜不產生龜裂,基板的選擇要 謹慎考慮,使膨脹係數與
CsI相近,以降低薄膜龜裂的情況。或另外可以考慮 用光纖玻
璃或經蝕刻產生柱狀結構的玻璃當基板增加形成柱狀結構的機率。


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