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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林寅智
論文名稱:以工程資料為基礎之半導體故障分析系統
論文名稱(外文):Engineering Data-based Failure Analysis System for Semiconductor Manufacturing
指導教授:陳飛龍陳飛龍引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程研究所
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:122
中文關鍵詞:半導體故障分析工程資料分析晶圓圖缺陷良率
外文關鍵詞:semiconductorfailure analysisEDAwafer mapdefectyield
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對半導體製造業而言,複雜的晶圓製造過程、昂貴的原材料及嚴格的生產環境等因素
,構成了居高不下的生產成本,各晶圓製造廠莫不汲於藉由各種製程控制方法或分析手法
,以達產品良率之確保及提昇之最終目的。良率之提昇,除線上嚴格而確實之製程監控外
,正確而有效之事後故障分析,則是確保並提昇良率之有效方法。
本研究提出一以工程資料為基礎之半導體故障分析系統,其主要目的乃藉由工程資料
,將針測後所得到之晶圓Bin圖,對各個製程之缺陷圖進行比較,而求得對Bin圖相關程度
最大之缺陷圖,藉此可得低良率晶圓出現時,造成此結果的最可能製程。研究中所提出之
故障分析系統,一方面對一般性故障找出可能之導因製程;另一方面,除尋出晶圓上之系
統性故障外,亦找出系統性故障之可能導因製程。此外,本系統並可對兩種故障存在或不
存在之各種狀況做出結論之推導。
依據現場製造工程師實際數據之驗證,可證明本系統的確具半導體故障分析之能力
(Cabability),亦符合半導體製造業之實際需要。藉由本系統輔助工程師快速而正確的尋
找出發生問題製程,進而對製程進行修正並避免類似問題之產生,除增加製程之穩定性外
,更進一步達成了製造良率提昇之目標。
For semiconductor manufacturing industries, high manufacturing costs are coupled with numerous, complex manufacturing processes and strict manufacturing environment. Since any yield loss will induce huge increase of manufacturing costs, the semiconductor manufacturing companies are always searching for methods to enhance the yield of their products. Besides in-line process control, off-line failure analysis is another important approach to improve the yield of semiconductor products.
 In this research, an engineering-data based semiconductor failure analysis system is presented. The goal of this system is to clarify the relationship between circuit probe yield and defects, via the comparison between Bin map and various defect maps gathered from in-line inspection, such that the contribution of various manufacturing processes to the failure of chips can be traced.
 Through the experiments conducted in a semiconductor company, it can be proven that the failrue analysis system developed in this research possesses the capability of finding our the root cause of yidle loss. By the assistance of this system, engineers can more effectively find out process problems to achieve the goal of yield improvement and enhancement.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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