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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:許晏華
論文名稱:有機金屬鹽裂法製備(Pb1-xLax)Ti1-x/4O3薄膜及其鐵電特性
指導教授:林正雄林正雄引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:120
中文關鍵詞:焦電現象基金屬裂解
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焦電現象為物質本身具有的自發極化量隨溫度變化而不同,當溫度改變即會感應出焦電電流。選用鈦酸鉛鑭(pb1-xLaxTi1-x/4O3,簡稱PLT)焦電薄膜來製作元件,具備可在室溫下操作、反應時間快、穩定性好、大的波長範圍均可操作的優點。PLT材料為鈦酸鉛加入計量之La元素,除了會降低鈦酸鉛的居禮溫度外,並可有效補償鉛空位造成漏電流減少。而有基金屬裂解(metal-organic decomposition,簡稱MOD)鍍膜法則具備了大面積鍍膜、化學計量比容易控制、價格便宜、製程簡單且重現性高的優點。
  本實驗以MOD法成功的製備了PLT焦電薄膜,在600℃即可得到鈣鈦礦結構,且XRD未發現明顯雜相。薄膜的Pr值最高達到12.6μC/cm2,焦電係數為5.4×10-8 C/(cm2‧T)。利用EDS檢測萍膜成份發現,薄膜在600℃即有鉛揮發現象,而且當鉛含量越多時,此現象越明顯。就自發極化量來說,高溫與長時間退火有助於Pr值提昇,爐管退火比RTA熱處理之Pr值高。由SEM觀察發現退火後薄膜表面產生微裂縫,應是漏電流產生的主因。而增加鑭含量可降低漏電流但Pr值也會降低。過量鉛添加能提高Pr值,但並不能使漏電流減小,反而在計量比成份時有較好的表現。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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