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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:程謙禮
研究生(外文):Cheng, Chien-Li
論文名稱:真空蒸鍍聚合聚亞醯胺薄膜/超薄膜研製及特性分析
論文名稱(外文):Preparatioin And Characterization Of Vapor Deposition Ploymerized Polyimide Thin/Ultrathin Films
指導教授:周卓煇
指導教授(外文):Jou, Jwo-Huei
學位類別:博士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學與工程研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:137
中文關鍵詞:真空蒸鍍聚合聚亞醯胺薄膜
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封面

中文摘要
英文摘要
誌謝
目錄
圖目錄
表目錄
壹、緒論
貳、文獻回顧
2-1、聚亞醯胺
2-2、真空蒸鍍聚合聚亞醯胺薄膜
2-3、真空蒸鍍聚合技術的應用
2-4、聚合體超薄膜
參、原理及方法
3-1、真空蒸鍍聚合
3-2、超薄膜針孔量測
肆、實驗
4-1、聚亞醯胺薄膜製備
4-2、薄膜化性分析
4-3、薄膜物性分析
4-4、薄膜及超薄膜機械性質分析
4-5、薄膜濕式光蝕刻製程評估
4-6、薄膜電性分析
4-7、二次質譜儀量測
4-8、超薄膜針孔量測及評估
伍、結果與討論
5-1、蒸鍍聚合薄膜
5-2、薄膜性質分析
5-3、超薄膜研製及性質分析
5-4、真空蒸鍍聚合反應之影響參數
5-5、金屬/聚亞醯胺界面分析
陸、結論
柒、參考資料
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