封面 獻 中文摘要 英文摘要 誌謝 目錄 圖目錄 表目錄 壹、緒論 貳、文獻回顧 2-1、聚亞醯胺 2-2、真空蒸鍍聚合聚亞醯胺薄膜 2-3、真空蒸鍍聚合技術的應用 2-4、聚合體超薄膜 參、原理及方法 3-1、真空蒸鍍聚合 3-2、超薄膜針孔量測 肆、實驗 4-1、聚亞醯胺薄膜製備 4-2、薄膜化性分析 4-3、薄膜物性分析 4-4、薄膜及超薄膜機械性質分析 4-5、薄膜濕式光蝕刻製程評估 4-6、薄膜電性分析 4-7、二次質譜儀量測 4-8、超薄膜針孔量測及評估 伍、結果與討論 5-1、蒸鍍聚合薄膜 5-2、薄膜性質分析 5-3、超薄膜研製及性質分析 5-4、真空蒸鍍聚合反應之影響參數 5-5、金屬/聚亞醯胺界面分析 陸、結論 柒、參考資料
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