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研究生:許立人
研究生(外文):Xu, Li-Ren
論文名稱:二維流體模式模擬電感式電漿源
論文名稱(外文):two-dimensional inductively coupled plasma simulation by fluid model
指導教授:胡瑗胡瑗引用關係林滄浪
指導教授(外文):Hu, YuanLin-Cang, Lang
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工程與系統科學研究所
學門:工程學門
學類:核子工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:143
中文關鍵詞:流體模式電感式電漿源電子溫度電場電感式電漿源模擬許立人工程科技系統科學
外文關鍵詞:Fluid Modelinductively coupled plasma simulationSheu Lih RenENGINEERINGTECHNOLOGYSYSTEM-TECHNOLOGY
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本項研究旨在建立二維的電感式電漿源的電腦模擬程式,以研究分析電漿
特性和各設計參數的關係並協助電漿源設計。此電腦模擬程式是以流體模
式(fluid model)為發展基礎,並利用ambipolar diffusion條件,以及
由global model估算出電子溫度,感應產生的電場由馬克斯威爾方程式解
出,游離速率則由電場和氣體壓力決定,建立了較簡易的模擬程式。利用
發展出的模擬程式,我們進行了電漿源的設計分析,如:改變電漿腔高度
、改變感應線圈的幾何形狀及圈數,另外也調變不同的工作氣體壓力、輸
入功率等等,以研究電漿特性與其之關係。從模擬的結果發現使用大面積
雙螺旋線圈比小面積三圈的螺旋線圈有較好的均勻度。另外,當拉高雙螺
旋線圈的中心部位時,中心處線圈所拉高的長度離石英窗較遠;而外圍的
線圈所拉高的距離較小,離石英窗較近,發現可以促使電漿密度分布較均
勻。所得到的模擬結果和實驗量測結果有相同變化的趨勢。 論文共分
六章,第一章為簡介,第二章是文獻回顧,說明電感式耦合電漿源的研究
背景及電腦模擬發展過程。第三章是基本原理,說明電感式耦合電漿源產
生及維持電漿的機制,第四章是電腦模擬方法,介紹模擬程式中各個模組
的計算方法,第五章是結果與討論,第六章為結論。
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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