本項研究旨在建立二維的電感式電漿源的電腦模擬程式，以研究分析電漿
特性和各設計參數的關係並協助電漿源設計。此電腦模擬程式是以流體模
式（fluid model）為發展基礎，並利用ambipolar diffusion條件，以及
由global model估算出電子溫度，感應產生的電場由馬克斯威爾方程式解
出，游離速率則由電場和氣體壓力決定，建立了較簡易的模擬程式。利用
發展出的模擬程式，我們進行了電漿源的設計分析，如：改變電漿腔高度
、改變感應線圈的幾何形狀及圈數，另外也調變不同的工作氣體壓力、輸
入功率等等，以研究電漿特性與其之關係。從模擬的結果發現使用大面積
雙螺旋線圈比小面積三圈的螺旋線圈有較好的均勻度。另外，當拉高雙螺
旋線圈的中心部位時，中心處線圈所拉高的長度離石英窗較遠；而外圍的
線圈所拉高的距離較小，離石英窗較近，發現可以促使電漿密度分布較均
勻。所得到的模擬結果和實驗量測結果有相同變化的趨勢。 論文共分
六章，第一章為簡介，第二章是文獻回顧，說明電感式耦合電漿源的研究
背景及電腦模擬發展過程。第三章是基本原理，說明電感式耦合電漿源產
生及維持電漿的機制，第四章是電腦模擬方法，介紹模擬程式中各個模組
的計算方法，第五章是結果與討論，第六章為結論。