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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:李敏鴻
研究生(外文):Lee, Min-Hung
論文名稱:快熱製程之模擬與設計
論文名稱(外文):Simulation and Design of Rapid Thermal Process
指導教授:陳銘堯陳銘堯引用關係劉致為---
指導教授(外文):Chen Ming-YaoLiu Chee-Wee
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:物理學系研究所
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:英文
論文頁數:91
中文關鍵詞:快熱製程放射率
外文關鍵詞:rapid thermal processemissivity
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本篇論文主要是討論快熱製程的模擬與設計

This thesis discuss the simulation and design of rapid thermal process.

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