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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:張明清
研究生(外文):Chang, Ming-Ching
論文名稱:用快速定位演算法做晶片印碼品質檢測
論文名稱(外文):Fast Search Algorithms for IC Printed Mark Quality Inspection
指導教授:傅楸善傅楸善引用關係---
指導教授(外文):Chiou-Shann Fuh
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:資訊工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:2
中文關鍵詞:電腦視覺視覺檢測定位晶片印碼
外文關鍵詞:Computer VisionVisual InspectionMatchingIC Printed MarkAlignmentSubpixel
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本篇論文提出了一個快速定位演算法,並實做於晶片印碼檢測系統上。

積體電路 (IC) 是電腦與電子工業的根本,
也是我國工業升級與在全球性巿場中競爭的重要課題與利器。
而積體電路工業包括前段晶圓製造處理 (Wafer Fabrication Process)
與後段之晶片封裝 (Chip Packaging)。
不論是前段晶圓製造處理之光罩曝光或瑕疵偵測或後段晶片封裝之印碼檢測、
腳位檢測、或晶片黏著 (Die Bonding) 等都需要精確定位。
能精確定位則其它檢測或黏著步驟都可以精確而迅速的完成。
因為晶片的腳數與電路密度快速增加,
高速與高精密度定位是晶片封裝不可或缺的重要演算法。

IC印碼 (IC Printed Mark) 是晶片封裝的最後步驟,
將產品編號及公司商標印在晶片上,
以識別產品功能及種類。
IC印碼是使用者第一個也是最明顯看到的部份,
使用者往往將印碼品質直接與晶片功能及品質,產生直接聯想;
在對品質不斷的追求完美時,IC印碼品質的提昇是十分重要的課題。

本篇論文主要在發展搜尋定位演算法,
以檢測 IC 印碼瑕疵,其中印碼可能為圖案或文字,並且可能旋轉與位移。
搜尋定位演算法主要使用正規化交互相關性 (Normalized Cross Correlation)
來作對應,
我們把它的功能加以擴充,加入了階層式搜尋、動態規畫 (Dynamic Programming)、
次像素精確度 (Subpixel Accuracy)、多目標搜尋、以及自動選擇搜尋的目標
等種種的功能,發展一個完整的快速定位系統。

IC 的印碼包含圖案與文字,由於機械定位上的誤差及其他外在因素的影響,
印碼會產生傾斜及位移。我們所要檢測的缺陷包括: 印碼扭曲、沒有印碼
、印碼位置錯誤、雙重印碼、印碼模糊、對比不佳、印碼錯誤、以及印碼方向錯誤等等。
檢測的精確度、速度、穩定性、及重現性等等都是工業需求的要點。

我們使用數位影像處理及電腦視覺上的種種方法來建立整個搜尋及檢測的演算法,
包括影像的二值化、投影法、影像相減對應、正規化交互相關性、以及
數學型態學等方法都有使用。IC 印碼的檢查包括教導和檢測的流程,
我們加強了教導時的功能,加快了檢測的速度,並將系統做不同的測試予以最佳化。

我們的演算法達到了高度精確度、高速度的工業需求,通過了不同的測試,
成功的完成一個視覺檢測系統。
This paper presents an effective and general purpose search algorithm
for alignment, and we applied it to IC printed mark quality inspection.
The search procedure is based on normalized cross
correlation, and we improve the method with hierarchical resolution
pyramid, dynamic programming, subpixel accuracy, multiple target search,
and automatic model selection.
The proposed search method can be applied to general visual inspection.

The IC printed mark includes a logo pattern and characters. Due to the
alignment error of the inspection machine, the mark can be rotated or
translated.
Main printing error of an IC mark includes: distortion, missing ink, wrong
position, double print, smear print, bad contrast (global or partial
character), misprint, and mis-orientation print.
The inspection accuracy, speed, reliability, and repeatability are
all important for the industrial requirement.

To develop the inspection algorithm, digital image
processing and computer vision techniques including image binarization,
projection, image difference, normalized cross correlation, and
mathematical morphology are used. We develop the teaching and inspection
function and optimize the system and test it on an IC inspection machine.
Our algorithm achieves high accuracy, reliability, and repeatability
with high speed for industrial requirement and works well on
field test of various IC products.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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