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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳建志
研究生(外文):Chen, Chien-Chih
論文名稱:快速熱處理機台監測與壓力控制系統之實現
論文名稱(外文):Implementation of a Monitoring and Pressure Control System in a Rapid Thermal Processor
指導教授:馮蟻剛---
指導教授(外文):Fong-I-Kong
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:電機工程學系研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
論文頁數:66
中文關鍵詞:快速熱處理快速熱處理機台壓力控制
外文關鍵詞:Rapid ThermalRapid Thermal ProcessorPressurecontrolRTP
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本研究致力於一現有之快速熱處理機台之自動化研究. 初期透過與使用者的訪談, 並考
慮現有機台架構的限制, 以發現其使用上的問題. 然後針對這些問題, 發展一套方便實用
的電腦輔助監測系統, 並實現一套新的機台壓力控制系統.在本論文中所發展之電腦輔助
監測系統, 其容易使用的溫度處方單操作畫面, 讓使用者易於上載及下載處方單, 簡易的
圖形使用者介面則降低了監看製程狀態的困難. 在資料庫管理方面, 本系統提供使用者儲
存及管理溫度處方單與製程資料的功能.在壓力控制系統方面, 本論文針對現有架構下的
問題深入探討, 並提供一個新的構想以改進系統性能. 透過硬體實現, 我們以實驗結果證
明可將系統壓力變動限制於一個小的範圍內, 也證明了新構想的可行性.
This thesis is devoted to the improvement of the automation degree of an
existing Rapid Thermal Processor (RTP). First we interview the users and study
its architectural constraints to expose the usage problems. In response to th
ese problems we develop a computerized monitoring system and implement a new p
ressure control system fot the RTP. In the newly developed monitoring syste
m we offer a friendly graphic user interface for manipulate temperature recipe
s. Users can not only easily modify, upload, and down load temperature recipes
, but also can monitor the operation process. Furthermore, the monitoring syst
em has a database for the users to save and manage recipes as well as process
parameters recorded during operations. As to the pressure control system, w
e look into the problems of the old system, and propose a new idea to improve
its performance. Through hardware implementation, we show by experiment that t
he pressure fluctuations in the reaction chamber are now limited to a small ra
nge. This show the feasibility of the new idea.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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