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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳永健
研究生(外文):Chen, Yung-Chien
論文名稱:超精密六軸定位平台及伺服系統之設計
論文名稱(外文):Six Degree of Freedom Precision Positioning Stage and Servo System Design
指導教授:顏家鈺顏家鈺引用關係---
指導教授(外文):Yen,Jia-Yush
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:機械工程學系研究所
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1998
畢業學年度:86
語文別:中文
中文關鍵詞:六軸定位平台伺服系統步進器史都渥特平台壓電致動器
外文關鍵詞:six axis position stageservo systemstepperstewart platformpiezoelectric actuator
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