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研究生:蘇柏宇
研究生(外文):Bo_yu, Su
論文名稱:多軸定位平臺之歸零程序研究
論文名稱(外文):The Research on the Zeroing Procedure of Multi-axis Positioning Platform
指導教授:陳永耀陳永耀引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:電機工程學研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1999
畢業學年度:87
語文別:中文
論文頁數:67
中文關鍵詞:定位平臺歸零演算法曝光機
外文關鍵詞:positioning tablezeroalgorithmexposure system
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一般而言,電路板自動曝光機使用的XYY定位平臺之各軸位置與平臺的姿態間之關係為非線性之關係。因此進行自動對位時,對於各軸之初始位置的依賴性很大。若無法確定各軸之初始位置,則之後的對位流程會有誤差發生,使得對位所需的時間增加。因此需要一個適當之歸零程序以確保各軸之初始位置位於原點。
在本論文中,我們提出了一個經濟且有效的歸零程序。此一歸零程序並不需要額外的位置感測器,而是運用自動曝光機現有的CCD影像系統以及利用臺框伺服系統本身運動學上的特性。此一歸零程序所使用的演算法主要是根據二分搜尋法。根據模擬的結果可以發現此一疊代式的歸零方法確實可行。

誌謝……………………………………………………………I
摘要……………………………………………………………II
目錄…………………………………………………………III
圖表目錄………………………………………………………V
第一章 緒論…………………………………………………1
1.1研究目的及緣起……………………………………1
1.2自動曝光機簡介……………………………………2
1.3自動曝光機臺框伺服系統…………………………11
1.4研究動機……………………………………………12
1.5內容概述……………………………………………14
第二章 歸零程序…………………………………………15
2.1模型推導……………………………………………15
2.1.1順向運動學分析……………………………………………17
2.1.2順向運動之特性……………………………………………19
2.2「演算法一」-將各軸定位到其M點之方法
……………………………………………………22
2.3「演算法二」-二軸之歸零程序……………………24
2.4「演算法一」中起始步伐的決定……………………29
第三章 機構誤差對於演算法之影響……………………35
3.1檔板誤差……………………………………………35
3.2模型修正……………………………………………36
3.3誤差分析……………………………………………38
3.3.1正偏斜角度………………………………………………39
3.3.2負偏斜角度………………………………………………40
第四章 模擬結果與討論…………………………………45
4.1對「演算法一」之模擬………………………………45
4.1.1模擬一………………………………………………………45
4.1.2模擬二………………………………………………………46
4.1.3模擬三………………………………………………………51
4.2對「演算法二」之模擬……………………………………52
4.2.1模擬一………………………………………………………52
4.2.2模擬二………………………………………………………54
4.2.3模擬三………………………………………………………59
第五章 結論與未來工作…………………………………62
附錄一、程式列表……………………………………………63
參考文獻……………………………………………………67

[1] ADTEC, “Automatic Simultaneous Top/Bottom Side Exposure
System Catalog”.
[2] BACHER, “Automatic Inner Layer Exposure System ILS 700
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[3] Clyde F. Coombs, Jr., “Printed circuits handbook” 2nd ed,
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[7] M. Vidyasagar, “Nonlinear Systems Analysis” 2nd ed,
Prentice-Hall.
[7] ORC, “Opti-Beam 7557 Proform Automatic UV Exposure System
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[7] Tamarack, “自動平行曝光機Model 177型錄”。
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