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研究生:姜志輝
論文名稱:可調式雷射與波長偵測器之積體化製作
論文名稱(外文):Photonic Integration of Tunable Lasers with Wavelength Sensors
指導教授:李三良李三良引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣科技大學
系所名稱:電子工程系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1999
畢業學年度:87
語文別:中文
論文頁數:59
中文關鍵詞:波長偵測波長穩定透明電流與波長關係
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此論文的內容主要是研究半導體雷射與波長檢測器的積體化,以製成波長穩定雷射。波長偵測是利用半導體雷射放大器內波長與透明電流間的相關性未達成。研究的重點在於波長偵測的原理與分析,以及積體化元件的製作。
在波長偵測原理方面,利用基本的半導體元件和雷射的原理,推導出透明電流與波長的關係,並作了簡單的模擬以探討使用機制作為波長偵測的方法和限制,證實其可在高密度分波多工系統中使用。
在積體化元件製作方面,設計了DBR雷射與光調變器以及不同寬度的光放大器積體化之光罩。由於大部份的積體化製程與先前可調式雷射的製程相同,因此在本計劃中製程技術開發的重點為進行氫離子佈植以提供電極間的隔離,成功地找出佈植條件及回火溫度,可使間距50um時的電阻達10M歐姆以上。
第一章 簡介 1
1.1 背景 1
1.2 先前之技術 2
1.3 動機 6
第二章 波長偵測之理論與分析 7
2.1 DBR雷射波長調動 7
2.2 波長偵測原理 9
2.2.1 光子與電子間的相互關係 9
2.2.2 半導體雷射放大器的增益 11
2.2.3 透明電流與波長之關係 13
2.2.4 透明電流量測方法 17
2.2.5 接面電壓之模擬分析 19
第三章 積體化製程 24
3.1 在III-V族材料中的絕緣 25
3.2 在InP中以氫離子佈植達成絕緣的原理 25
3.3 氫離子佈植的條件 28
3.4 積體化製程 30
3.4.1 氫離子佈植 30
3.4.2 積體化雷射的光罩設計 34
3.4.3 雷射製程 35
第四章 結果與分析 40
4.1 離子佈植之結果與分析 40
4.2 SGDBR之L-I特性 46
4.3 波長與透明電流之關係圖 50
第五章 結論 56
參考文獻 58
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[6] 張英發, “設計及製作可調式半導體雷射陣列”, 碩士論文, 台灣科
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