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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:胡俊傑
論文名稱:以光學相關器進行雷射修補時的圖形對準與定位之研究
論文名稱(外文):The study of pattern alignment and positioning in laser repairing with optical correlator
指導教授:洪端佑
學位類別:碩士
校院名稱:中華大學
系所名稱:電機工程學系碩士班
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2000
畢業學年度:88
語文別:中文
論文頁數:110
中文關鍵詞:光學相關器圖形對準光束定位法空間頻譜濾波器雷射修補機偏移量
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目前在半導體工業上所使用的記憶體雷射修補機,其採用的尋找對準點的方式是以數位影像處理加上光束定位法以達成對晶圓上每個晶粒的快速定位,與利用光學訊號處理來達成圖形的對準與定位方法之比較,光學訊號處理則具有顯著之優點,包括快速類比乘積和平行運算之能力,在處理大量的圖形陣列資料時可明顯的獲得即時的快速處理。本篇論文旨在利用光學訊號處理方式之相干式光學相關器對晶圓上用來作對準使用的圖形進行圖形對準與定位的研究,並以電腦軟體撰寫程式設計相關器上所使用的空間頻譜濾波器,與進行相關運算的數值模擬作為輔助實驗中的調整參考與實驗結果的比對。
本論文所使用的相干式光學相關器包括一組平行光源,兩個傅立葉透鏡,及兩組架座以作為置放輸入圖形與濾波器圖形的幻燈片使用。論文中所進行的實驗主要目的是用來檢測圖形的偏移量,亦包括以我們安裝之簡易光學相關器對理想與灰階誤差的目標圖形輸入所獲得之相關輸出結果做分析。圖形偏移量的檢測實驗中,可藉由將輸入圖形放大53倍來達到定位的解析度為 0.16 μm, 以目前記憶體產品的規格需求而言是符合在容許誤差範圍內,在執行圖形對準時間經估算需花費約100 ms, 若能加速對目標圖形與相關輸出陣列的讀取速度,則可取代光束定位法來執行對晶粒的定位工作。
本篇論文中使用之相干式光學相關器,對於圖形偏移量的處理不需影像處理,直接可以在相關運算的輸出陣列中的最大值出現位置求得對準點,希望能以此篇論文作為雷射修補機的製造廠商與後續研究者的參考。

摘要………………………………………………………………..….…I
Abstract………………………………...……………….…………..…III誌謝………………………………………………………………….…V
目錄………………………………………………………………….…VI
圖目錄……………………………………………………………..…VIII
表目錄………………………………………………………………..XIV
第一章 緒論…………………………………………………………..1
第二章 理論背景……………………………………………………..9
2-1光學傅立葉轉換………………………………………..10
2-2光學相關器演算法則………………………………....…12
2-3純相位空間頻譜濾波器 ………………………………..14
第三章 電腦模擬……………………………………………………. 19
3-1純相位空間頻譜濾波器與相關運算輸出模擬……...… 19
3-2圖形偏移之模擬…..……..……..………………………. 21
3-3灰階誤差圖形之相關運算輸出模擬…………….…….. 22
3-4實驗調整模擬……………………………………………24
第四章 實驗與結果……………….………………………………… 66
4-1實驗系統介紹…………………………………………..66
4-2實驗之方法與步驟……………………………………..68
4-3 實驗之結果……………………………………………..71
第五章 分析與討論……………………………………………………89
5-1實驗結果分析…………………………………………..89
5-2討論………………………………………………………92
第六章 結論與未來展望…………………………………………….108
6-1結論…………………………………………………….108
6-2未來展望……………………………………………...109
參考文獻……………………………………………………………..110

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