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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王偉瀚
研究生(外文):Wang Wei-Han
論文名稱:具有質子交換微稜鏡之大角度鎳擴散鈮酸鋰Y形波導
論文名稱(外文):Wide-Angle Ni-Diffused Lithium Niobate Y-Branch Waveguide with a Proton-Exchanged Microprism
指導教授:王維新王維新引用關係
指導教授(外文):Way-Seen Wang
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺灣大學
系所名稱:光電工程學研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2000
畢業學年度:88
語文別:中文
論文頁數:53
中文關鍵詞:彎曲波導Y形波導積體光學元件質子交換
外文關鍵詞:Waveguide BandY-JunctionIntegrated Optical DeviceProton Exchange
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彎曲及Y形波導為積體光學元件中重要的結構。然而,隨著波導彎曲角度的加大,光傳播損耗亦將大幅增加;使得傳統波導的彎曲角度必須限制在1∘之內,造成元件面積過大的缺點。
本論文根據文獻提出之結構,利用質子交換法製作高折射率稜鏡,藉以改善鎳擴散式鈮酸鋰大角度彎曲及Y形波導的傳輸效率。而稜鏡設計及製程參數,則根據誤差容忍度分析、傳輸率分析及實際製程狀況加以決定。
實作之大角度彎曲及Y形波導能夠完整且高效率的傳輸光源,使用於積體光學元件中,將可大幅度減少元件所佔面積,解決傳統彎曲波導造成元件面積過大的問題。
Waveguide bands and Y-junctions are very important elements of integrated optical devices. However, the most serious problem is that the radiation loss becomes excessive when the bending angle is larger than 1∘. In this paper, A proton-exchanged prism-like region is fabricated for the acceleration of the phase front, which facilitates the bending of the guided wave. The experimental results of waveguide bands and Y-junctions are greatly enhanced, which make the application of wide-angle waveguide bends and Y-junctions possible.
第一章 緒論 1
1.1 積體光學簡介 1
1.2 鈮酸鋰晶體簡介 2
1.3 鎳擴散式鈮酸鋰光波導的特性 3
1.4 質子交換製程的特性 4
1.5 內容概述 5
第二章 大角度Y型鎳波導之原理 6
2.1 大角度彎曲波導的原理 6
2.2 大角度彎曲波導的設計 6
2.3 大角度Y形波導的原理及設計 8
第三章 積體光學元件製程 11
3.1 晶片切割 11
3.2 晶片清洗 12
3.3 光製版術與圖形轉移 13
3.4 蒸鍍及濺鍍金屬或化合物 13
3.5 掀離法 14
3.6 高溫擴散 14
3.7 質子交換 15
3.8 晶片研磨及拋光 15
3.9 光場量測 16
3.10 製作流程 17
第四章 製程參數分析 18
4.1 偏誤容忍度分析 18
4.2 製程條件分析 19
第五章 實驗結果與討論 20
5.1 大角度彎曲波導的實驗結果 20
5.2 大角度Y形波導的實驗結果 20
5.3 討論 20
第六章 結論與未來展望 22
參考文獻 22
附表 26
附圖 28
[1] R. S. Weis and T. K. Gaylord, “Lithium niobate: summary of physical properties and crystal structure,” Appl. Phys. A., vol. 37, pp. 191-203, 1985.
[2] A. Yariv and P. Yeh, Optical Waves in Crystals, Wiley, 1984.
[3] S. Miyazawa, “Ferroelectric domain inversion in Ti-diffused LiNbO3 optical waveguide,” J. Appl. Phys., vol. 50, no. 7, pp. 4599-4603, 1979.
[4] I. P. Kaminow and J. R. Carruthers, “Optical waveguiding layer in LiNbO3,” Appl. Phys. Lett., vol. 22, no. 7, pp. 326-328, 1973.
[5] 陳德榮, 「鎳擴散式鈮酸鋰光波導之研製」, 國立臺灣大學電機工程學研究所碩士論文, 1994.
[6] J. J. Veselka and G. A. Bogert, “Low-insertion-loss channel waveguides in LiNbO3 fabricated by proton exchange,” Electron. Lett., vol. 23, no. 6, pp. 265-266, Mar. 1987.
[7] M. N. Armenise, “Fabrication techniques of lithium niobate waveguides,” IEE Proc.-J, vol. 135, pp. 85-91, 1999.
[8] A. Yi-Yan, “Index instability in proton exchanged LiNbO3 waveguides,” Appl. Phys. Lett., vol. 42, pp. 633-635, 1983.
[9] K. Hirayama and M. Koshiba, “A new low-loss structure of abrupt bends in dielectric waveguides,” J. Lightwave Technol., vol. 10, no. 5, pp. 563-569, May 1992.
[10] H. B. Lin, J. Y. Su, P. K. Wei, and W. S. Wang, “Design and application of very low-loss abrupt bends in optical waveguides,” IEEE J. Quantum Electron., vol. 30, no. 12, pp. 2827-2835, Dec. 1994.
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