一、中文部分
1、 「化學災害現場預防資訊體系OSPCT計畫報告合訂本」，行政院環保署，民國八十三年。
2、 「化學危險品消防與急救手冊」，化學工程出版社，民國八十五年八月。
3、 防火手冊，中華人民共和國工安部消防局，民國八十一年。
4、 邱晨瑋，「半導體產業無塵室消防安全設計因素之研究」，中央警察大學碩士論文，民國八十七年七月。5、 岡部洋一著，陳連春譯，「圖解半導體與IC」，建興出版社，民國八十八年七月。
6、 美國環境保護署，「氟化氫研究－國會報告之摘要」，化學災害預防技術研討會，行政院環保署，民國八十四年三月。
7、 陳亮全等，「新竹科學園區重大火災預防措施之評估」，新竹科學工業園區委托研究，民國八十七年八月。
8、 莊達人，「VLSI製造技術」，高立圖書有限公司，民國八十九年八月。
9、 張勁燕，「半導體製程設備」，五南圖書出版有限公司，民國八十九年十一月。
10、張繼文，「濕洗檯作業之消防安全防護」，消防科技資訊雜誌，民國八十九年三月。11、張繼文，「半導體製程中易燃性液體之安全管理」，消防科技資訊雜誌，民國八十九年四月。12、陳重仁、余清其，「半導體廠及光電廠二次災害防制標準作業程序建立計畫」，新竹科學工業園區管理局，民國八十八年。
13、黃建平、柴永林，「排氣管路分類與材質選用」，e-safety工安簡訊第二期，民國九十年三月。
14、經濟部工業局，「緊急應變與指揮系統實務」，經濟部工業局，民國八十八年。
15、熊光華等，「半導體產業重大火災預防措施之評估子計畫四：救災應變評估」，行政院國科會專題研究計畫成果報告，民國八十七年七月。
16、「潔淨室工程訓練資料」，永勝工程股份有限公司，民國八十三年八月。
17、鄭禮彬，「半導體工業火災防護（下）」，消防科技資訊第三期，民國八十六年一月。18、鄧子正，「消防戰術－理論與實務」，中央警察大學，民國八十三年十月。
19、鄧昭芳，「化災之緊急醫療應變」，化學災害應變研討會資料集，行政院環保署，民國八十年。
20、顏登通，「潔淨室之設計與管理」，全華科技圖書股份有限公司，民國八十六年四月。
21、簡賢文等，「半導體產業重大火災預防措施之評估子計畫三：防火設計消防設備評估」，行政院國科會專題研究計畫成果報告，民國八十七年七月。
22、簡賢文，「高科技廠房火災安全防護設備之選用配置」，消防科技資訊雜誌89年3月號。
二、英文部分
1、 FM Loss Prevention Data 1-56, Semiconductor Fabrication Facilities, 1996.
2、 Lawrence A.Mckenna,Jr.1991.”Semiconductor Manufacturing” NFPA Fire Protection Handbook, 17nd Ed.
3、 NFPA 318, Standard for the Protection of Cleanroom, National Fire Protection Associatoin, Quincy, MA, 1995.
4、 NFPA 13, Standard for the Installation of Sprinkler Systems, National Fire Protection Associatoin, Quincy, MA, 1991.
5、 Oklahoma State University , “Incident Command System” , Fire Protection Publication .
6、 SEMI S10-96, Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment, 1999.
三、日文部分
1、 「化學災害」，消防活動關係，民國八十八年。
2、 早川一也，淺田敏勝，「新－－運轉、管理、清淨化」，NTS株式會社，民國八十二年十月。
3、 「近代消防戰術－第九篇 警防計畫」，東京消防廳司令部，昭和五十六年三月。