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研究生:梁沅汎
研究生(外文):Liang Yuan Fane
論文名稱:鎳鈦及鈷鉻合金薄膜之光學特性研究
論文名稱(外文):The Optical Property Studies of Ni-Ti and Co-Cr Thin Film
指導教授:吳坤東姚永德姚永德引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:輔仁大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2001
畢業學年度:89
語文別:中文
論文頁數:58
中文關鍵詞:鎳鈦鈷鉻
外文關鍵詞:Ni-TiCo-Cr
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本論文主要為在玻璃基板上濺鍍鎳、鈦及鎳鈦薄膜,而利用X-RAY及光譜儀來測量其特性及對鎳、鈦、鎳鈦薄膜及鈷鉻合金薄膜做光譜測量。
首先由X-RAY測量出鈦的成分而後為對鎳、鈦、鎳鈦薄膜及鈷鉻合金薄膜以Cary 5E測量其不同厚度之穿透率、反射率及吸收率之變化。經由實驗觀察後發現鎳鈦及鈦薄膜之光譜圖會出現隨膜厚增加而震盪的情形,而且其間隔為1000Å左右,於是在樣品製作方面以1000Å為間隔,分別是1000Å、2000Å、3000Å、4000Å、5000Å五種厚度。以Ni及Ni79Ti21(1000Å)的穿透率在波長652nm為例,Ni為45.4%且為平滑曲線, Ni79Ti21為72.5%而為第一個peak出現;在隨薄膜厚度的增加Ni薄膜的穿透率降低但依然為平滑曲線,可是Ni-Ti薄膜peak的數目卻增加,而peak數目的增加即表示光譜圖有上下震盪情形的發生。在鎳鈦薄膜方面,穿透率隨著鈦的增加而有顯著的提昇;而反射率方面,隨著鈦的增加而有峰值增多的情形發生。
以鈷鉻為主體的一系列薄膜在穿透率方面有共通的特性,其特性為在長波長之下有著較低的穿透率,並且隨著薄膜厚度增加而遞減,在穿透光譜圖上可看出其遞減速率幾乎呈現對數的形狀。
The mainly purpose of this thesis is sputtering nickel, titanium and Ni-Ti thin films on substrate, and then uses x-ray diffractometer, and spectrophotometer Cary-5E to measure its optical properties. Also we use spectrophotometer Cary-5E to measure the optical spectrum of the Co-Cr thin films.
At first, we use x-ray diffractometer to measure Ti’s components. Then use spectrophotometer Cary-5E to measure the optical spectrum for the nickel, titanium, Ni-Ti and Co-Cr thin films of different thickness to compare their transmittance, reflectance, and absorptance.
We find the optical spectrum shake with increasingly thickness of Ni-Ti, and Ti thin film. The distance with peak appear and again is about 1000Å. And then I make my sample with 1000Å, 2000Å,3000Å,4000Å, and 5000Å.For example by the transmittance in 652nm wavelength of Ni and Ni79Ti21 (1000Å),the transmittance intensity of Ni thin film is 45.4% with smooth line, but the transmittance intensity of Ni79Ti21 thin film is 72.5%,and it is the first peak. Now we know the phenomenon of Ni-Ti thin film is the peak, and the transmittance getting more increase with increasingly Ti.
For the base components of Co-Cr, they have the same quality of transmittance. The quality of transmittance is lower in long wavelength,and it decrease gradually by increasingly thickness.
摘要………………………………………………………………………Ⅰ
Abstract…………………………………………………………………Ⅱ
目錄………………………………………………………………………Ⅲ
圖索引……………………………………………………………………Ⅵ
表索引……………………………………………………………………Ⅸ
第一章簡 介………………………………………………………1
第二章基本理論
第一節薄膜理論…………………………………………2
2-1-1 薄膜長成………………………………2
2-1-2 薄膜公式推導…………………………3
2-1-3 震盪機制………………………………5
第二節 濺散理論
2-2-1 氣體的碰撞原理………………………7
2-2-2 直流式電漿……………………………9
第三章 實 驗 儀 器………………………………………………12
第一節 真空腔……………………………………13
第二節 邦浦系統…………………………………14
第三節 控制系統 ………………………………………17
第四節 濺鍍系統……………………………………18
第五節 石英震盪測厚儀………………………………19
第六節 Cary 5E光譜儀量測系統……………………21
第七節 X-RAY 量測系統…………………………………23
第四章 實驗結果分析與討論……………………………………26
第一節 Ni-Ti合金薄膜光譜量測結果與分析………26
(a)穿透光譜的實驗數據及探討 ………………26
(b)反射光譜的實驗數據及探討 ………………32
(c)吸收光譜的實驗數據及探討 ………………35
第二節 Co-Cr合金薄膜光譜量測結果與分析…………38
(a)Co63Cr37合金薄膜 ……………………………38
(b) Co67Cr18Pt11Ta4合金薄膜 ……………………42
(c)Co、Cr、C 為主體的多層膜 …………………45
第五章 結 論………………………………………………………50
參 考 文 獻 …………………………………………………………52
附錄a 鈦在不同厚度下的XRD圖 …………………………………53
附錄b 玻璃基版的baseline…………………………………………56
附錄c 穿透率peak的位置與強度 …………………………………57
附錄d 反射率peak的位置與強度 …………………………………58
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10. 鄭培凱:〈天地正義僅見於婦女:明清的情色意識與貞淫問題(上)〉,《當代》16期,頁45-58,1987.08
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12. 劉亮雅:〈第二波女性主義與性意識〉,《聯合文學》172期,頁102,1999.02
13. 劉亮雅:〈第二波女性主義與性意識〉,《聯合文學》172期,頁102,1999.02
14. 廖炳惠:〈試論當前意識型態研究及女權批評的得失〉《中外文學》14卷11期,頁40-76,1986.09
15. 廖炳惠:〈試論當前意識型態研究及女權批評的得失〉《中外文學》14卷11期,頁40-76,1986.09
 
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