跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(54.224.117.125) 您好!臺灣時間:2022/01/23 21:21
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:賴學鼎
論文名稱:前瞻式成批加工法則之探討
論文名稱(外文):Study of look-ahead batch dispatching rule
指導教授:沙永傑沙永傑引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:工業工程與管理系
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:62
中文關鍵詞:虛擬晶圓廠成批加工法則爐管生產環境因子工單交期
相關次數:
  • 被引用被引用:1
  • 點閱點閱:187
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:1
在晶圓製造中,成批加工的時間佔去整個晶圓製造的30%以上。主因是加工時間較長,且在成批機台的等候線中會有機台稼動率和晶圓等候時間的交換關係,因此成批機台往往會是整個晶圓製程中的限制資源。在以往的文獻中有許多關於成批機台的派工法則,就多位學者的研究指出前瞻型的派工法則對於等候時間及機台稼動率都有優於傳統最小批量法(MBS)的表現。這些派工法則有:DBH、NACH、MCR以及DJAH。但是這些方法都沒有考量晶圓的交期,所以對於落後交期的工單卻無法加快該工單的生產時間。在本研究中將提出考量交期的前瞻式成批派工法則LBCR,希望能有效提昇達交率以及減少平均延遲時間。
本研究首先將對上述選定MBSX、NACH、MCR、DJAH以及LBCR派工法則進行修正,使其適用於多機、多產品的晶圓製造環境。接著利用實驗設計的手法,將包含生產線交通密度、產品數以及產品比例的生產環境因子納入考量,藉以比較五種成批機台派工法則的優劣。經模擬實驗分析,發現LBCR在延遲比例以及平均延遲時間上明顯優於其他成批加工法則。

目錄
摘要 i
ABSTRACT ii
誌謝 iii
圖目錄 vi
表目錄 vii
第一章 緒論 1
1.1 研究背景與動機 1
1.2 研究目的 2
1.3 研究範圍與限制 2
1.4 研究方法與流程 3
第二章 文獻探討 6
2.1 晶圓廠製程特性回顧 6
2.2 機台派工法則文獻回顧 7
2.2.1 序列機台派工法則 7
2.2.2 成批機台派工法則 9
2.3 影響晶圓廠之生產系統因子 11
第三章 模式建構 13
3.1 問題描述 13
3.2 成批加工法則的分類探討 14
3.3爐管派工法則 16
3.3.1 MBS與MBSX 17
3.3.2 NACH 17
3.3.3 MCR 19
3.3.4 DJAH 22
3.4成批加工績效之環境因子之選擇 30
第四章 模式驗證 32
4.1 模擬環境解說 32
4.1.1 生產環境介紹 32
4.1.2 成批加工機台相關資訊 33
4.2 生產環境因子之水準設定 34
4.2.1 生產線交通密度之水準設定 35
4.2.2 產品數之水準設定 35
4.2.3 產品組合之水準設定 35
4.3 實驗分析 36
4.3.1 延遲比例 37
4.3.2 平均延遲時間 40
4.3.3加工流程時間 44
4.3.4 系統產量 48
第五章 結論 51
5.1 結論 51
5.2 未來研究方向 52
參考文獻 53
附錄 56
附錄A:工作站資訊以及產品製程 56
附錄B:模擬數據 61

參考文獻
[1]. Douglas, C. Montgomery, Design and Analysis of Experiments (third edition). Copyright 1976,1984,1991, by John Wiley & Sons, Inc. Published simultaneous in Canada. 1991
[2]. Blackstone, J. H., Philips, D. T., and Hogg, G. L. A State-of-the-Art Survey of Dispatching Rules for Manufacturing Job Shop Operation. Internation Journal of Production Research, Vol.20, No.1, pp.27-45, 1982.
[3]. Baudin, G. R. and Tirupati, D. Approximation For Product Departures From A Single-Server Station with Batch Processing in Multi-Product Queues. Management Science, Vol.35, pp.851-878, 1989.
[4]. Fowler, J. W., Hogg, G. L., and Philips, D. T., Control of Multiproduct Bulk Service Diffusion / Oxidation Process. IIE Transaction Vol. 24, No. 4, pp.84-96, 1992.
[5]. Glassey, C. R. and Weng, W. W., Dynamic Batching Heuristic for Simultaneous Process. IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing. Vol. 4, No. 2, pp.77-82,1991.
[6]. Gurnani, H., Anupindi, R., and Akella, R., Control of Batch Processing Systems in Semiconductor Wafer Fabrication Facilities. IEEE Transactions of Semiconductor Manufacturing, vol. 5, pp319-328, 1992.
[7]. Jackson, J. R., Simulation Research on Job Shop Production, Naval Research Logistic Quarerly, Vol. 4, No. 4, pp. 287-295, 1957.
[8]. Kim, Y. D., Lee, D. H., Kim, J. U., and Roh, H. K., A Simulation Study on Lot Release Control, Mask Scheduling, and Batch Scheduling in Semiconductor Wafer Fabrication Facilities. Journal of Manufacturing Systems Vol.17, No.2, pp.107-117, 1998.
[9]. Neuts, M. E., A General Class of Bulk Queues with Poisson Input. Annals of Mathematical Statistic, Vol.38, pp.759-770,1967.
[10]. Robinson, J. K., Fowler, J. W., and Bard, J. F., The Use of Upstream and Downstream Information in Scheduling Semiconductor Batch Operation. International Journal of Production Research Vol.33, No.8, pp.1849-1869,1995.
[11]. Rulkens, H. J. A., van Campen, E. J. J., van Herk, J., and Rooda, J. E., Batch Size Optimization Of A Furnace and Pre-clean Area By Using Dynamic Simulations. IEEE SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 1998.
[12]. Uzsoy, R., Lee, C-Y, and Martin-Vega, L. A., A Review of Production Planning and Scheduling Models in Semiconductor Industry. PartⅠ: System Characteristics, Performances Evaluation and Production Planning. IIE Transactions, Vol. 24, No.4, pp.47-58, 1992.
[13]. Uzsoy, R., Lee, C-Y, and Louis, A., A Review of Production Planning and Scheduling Models in Semiconductor Industry. PartⅡ : Shop Floor Control. IIE Transactions, Vol.26, No.5, pp. 44-55, 1994.
[14]. Uzsoy, R., Timothy, J. T., Alternative Loading and Dispatching Policies for Furnace Operations in Semiconductor Manufacturing: A Comparison by Simulation. Proceedings of the Winter Simulation Conference.
[15]. Van Der Zee, D. J., Van Harten, A., and Schuur, P. C., Dyanmic Job Assignment Heuristic For Multi-Server Batch Operations — A Cost Based Approach. International Journal of Production Research, Vol. 35, No.11, pp.3063-3093, 1997.
[16]. Weng, W. W., and Leachman, R. C., An Improved Methodology for Real-Time Production Decisions at Batch-Process Workstation. IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing Vol. 6, No.3, pp219-225, 1993.
[17]. 林悅慈,”以統計方法分析與設計半導體生產製造系統”,國立台灣大學工業工程研究所碩士論文,民國八十八年。
[18]. 周煜智,”晶圓製造廠目標導向式生產活動控制系統之設計”,國立交通大學工業工程與管研究所碩士論文,民國八十八年。
[19]. 許榮通,”利用實驗設計手法尋求適宜生產環境之派工法則”,國立台灣大學機械工程學研究所碩士論文,民國八十九年。
[20]. 劉正祥,”不同排程組合下晶圓廠交期預測因子之研究”,國立交通大學工業工程與管理研究所碩士論文,民國九十年。
[21]. 謝志岳,”晶圓製造廠黃光區與爐管區派工法則之研究”,國立交通大學工業工程與管理研究所碩士論文,民國八十六年。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top