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研究生:陳大倫
研究生(外文):Da-Lun Chen
論文名稱:晶圓缺陷點群聚指標之建立
論文名稱(外文):The Development of New Cluster Index for Wafer Defects
指導教授:唐麗英唐麗英引用關係梁高榮梁高榮引用關係
指導教授(外文):Lee-Ing TongGau-Rong Liang
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:工業工程與管理系
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:39
中文關鍵詞:積體電路晶圓缺陷點群聚現象群聚指標轉軸方法
外文關鍵詞:Integrate circuitwaferdefectclustercluster indexrotation of axes
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晶圓的良率(yield)是衡量積體電路製造業者生產能力的一個重要指標,影響良率高低的因素有很多,其中晶圓上缺陷點數的多寡及缺陷點(defect)的群聚(clustering)程度是決定晶圓良率高低的兩個重要因素。近年來隨著晶圓面積不斷增大,使得晶圓上缺陷點出現群聚的現象,許多中、外文獻雖然針對晶圓上的缺陷點群聚問題提出了各種不同的群聚指標來衡量缺陷點的群聚程度,然而這些衡量指標各有不周延之處。因此本研究的主要目的是在發展一個無需任何統計假設的新群聚指標,該指標應用轉軸方法可充分描述缺陷點在晶圓上的相對位置,因此能有效地反應出缺陷點群聚嚴重的程度。本研究最後以模擬資料及實例來說明本研究之群聚指標的有效性及可行性,結果顯示本研究所發展之群聚指標比中、外文獻所提之其他缺陷點群聚指標的表現更好。此指標不但不受晶片大小的影響,且有均勻的數值範圍可量化不同嚴重程度的群聚現象,因此較其他缺陷點群聚指標更能確實地反應出真實的缺陷點群聚程度。此外,本研究之群聚指標計算相當簡單,對於無統計背景的工程人員而言,甚具實用價值。
There are two major factors affecting the yield of integrated circuits (IC) products. One is the number of defects on a wafer and the other is the degree of defect clustering. The clustering of defects on a wafer due to the complicated manufacturing process becomes more evident with increased wafer size. Therefore, many cluster indices had been developed to detect the defect clustering. However, there are still some shortcomings in employing these cluster indices. This study applies the rotation of axes and develops a new cluster index, which does not require any assumptions on the distribution of defects. Therefore, the proposed cluster index is easier to be employed by engineers with little statistical background. The value of the proposed cluster index contains more information about defect locations on a wafer and reflects the true degree of defect clustering. To verify the effectiveness of the proposed cluster index, a simulation experiment and a case study are presented. In the simulation experiment, comparing with some existing cluster indices which are widely used in IC fabrication, the value of the proposed index is not affected by chip size and can measure the true degree of defect clustering linearly within a uniform range. In the case study, a Hotelling T2 multivariate control chart incorporating the proposed index and the defect counts that can simultaneously monitor the total number of defects and the degree of defect clustering on a wafer is conducted and shows that the proposed cluster index is more powerful in detecting the defect clustering than other existing cluster indices.
目 錄
第一章 緒論………. 1
1.1 研究動機與目的 1
1.2 研究方法 2
1.3 研究假設 2
1.4 研究架構 3
第二章 文獻探討… 4
2.1 複合卜瓦松良率模式 4
2.1.1 卜瓦松良率模式 5
2.1.2 負二項良率模式 6
2.2 空間統計學之群聚指標研究 7
2.3 無統計假設之群聚指標 8
2.4 一維轉軸方法 10
2.5 Hotelling T2多變量管制圖 11
第三章 新群聚指標之建立及其優點 14
3.1 新群聚指標CIR之建立 14
3.2 新群聚指標CIR之優點 15
第四章 模擬實驗及實例驗證 18
4.1 電腦模擬實驗 18
4.1.1 隨機圖案 20
4.1.2 牛眼圖案 21
4.1.3 底部圖案 23
4.1.4 弦月圖案 26
4.1.5 環狀圖案 28
4.1.6 模擬實驗之結論 30
4.2 實例驗證 31
4.2.1 結合缺陷數與群聚指標CIR的多變量管制圖(缺點數-CIR管制圖) 31
4.2.2 與結合缺陷數與群聚指標CI的多變量管制圖(缺點數-CI管制圖)的比較 34
4.2.3 實例驗證之結論 37
第五章 結論……… 38
參考文獻…………. 39
[1] Cunningham, J. A., ”The Use and Evaluation of Yield Models in Integrated Circuit Manufacturing,” IEEE Trans. on Semiconductor Manufacturing, Vol. 3, No. 2, pp. 60-71, 1990.
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[3] Jun, C. H., Hong, Y., Kim, S.Y., Park, K. S. and Park, H.,“A Simulation-Based Semiconductor Chip Yield Model incorporating a new defect cluster index,” Microelectronics Reliability, Vol. 39, pp. 451-456, 1999.
[4] Mason, R. L., Tracy, N. D. and Young, J. C., “Decomposition of T2 for Multivariate Control Chart Interpretation,” Journal of Quality Technology, Vol. 27, No. 2,pp. 99-108, April 1995.
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[8] Stapper, C. H., ”Defect Density Distribution for LSI Yield Calculations,” IEEE Transactions on Electron Devices (Correspondence), Vol. ED-20, pp. 655-657, 1973.
[9] Sharma, S., “Applied Multivariate Techniques,” Wiley, 1996.
[10] 曾乙弘,『積體電路生產線上考慮缺陷群聚現象的製程管制圖』, 國立交通大學工業工程研究所碩士論文,1994
[11] 黃志力,『積體電路生產線上結合缺陷數與缺陷群聚之Hotelling T2多變量管制圖』,國立交通大學工業工程研究所碩士論文,2001.
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1. 毛漢光,〈隋唐軍府演變之比較與研究〉,收入《國立中正大學學報‧人文分冊》,嘉義民雄﹕國立中正大學,民國八十四年(1995),6﹕1,頁119-157。
2. 毛漢光,〈隋唐軍府演變之比較與研究〉,《國立中正大學學報‧人文分冊》,6﹕1,民國八十四年十二月(1995),頁119-157。
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4. 毛漢光,〈「唐代墓誌銘集釋」總序、凡例、及引用書籍〉,《食貨月刊》,12:4-5,頁121-133。
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10. 王德權,〈隋代縣級政區的調整--初步的考察〉,《國立中正大學學報‧人文分冊》,8﹕1,民國八十六年十二月(1997),頁343-380。
11. 邱添生,〈論「唐宋變革期」的歷史意義――以政治、社會、經濟之演變為中心〉,《師大歷史學報》,7,民國六十八年五月(1979),頁83-111。
12. 高明士,〈族群關係與南北朝的分合〉,《歷史月刊》,98,1996,頁74-79。
13. 張正田,〈以「盧從史事件」昭義軍節度使對唐代的重要性──並略論昭義地理形勢概況〉,收入《中正歷史學刊》,嘉義民雄:國立中正大學歷史研究所,89:3,2000,頁305-330。
14. 雷家驥,〈後趙文化適應與兩制統治〉,《國立中正大學學報‧人文分冊》,5﹕1,1994。
15. 雷家驥,〈唐代「元和中興」的淮西會戰〉,《歷史月刊》,1988:9,頁104-115。