跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(3.90.139.113) 您好!臺灣時間:2022/01/16 18:18
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:蔡承先
研究生(外文):Cheng-Hsien Tsai
論文名稱:矽磊晶晶圓多變量製程管制
論文名稱(外文):Multivariate Process Control for Silicon Epitaxy Wafer
指導教授:唐麗英唐麗英引用關係
指導教授(外文):Lee-Ing Tong
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:工業工程與管理系
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:31
中文關鍵詞:矽磊晶晶圓主成份分析Hotelling 多變量管制圖
外文關鍵詞:Silicon Epitaxy waferPrincipal component analysisHotelling multivariate control chart
相關次數:
  • 被引用被引用:3
  • 點閱點閱:222
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:1
針對矽磊晶晶圓的多品質特性,目前業界並沒有一套有效的品質管制流程。業界常用的品質管制方法是針對每一個品質特性繪製一張管制圖,繪製方法是將該批量內每一品質特性所量測的多個監測點資料用來繪製 及R管制圖。在這種情況下,如果一次只考慮一個單一變量,且將每個單一變量分開來進行管制,並據以判定製程的好壞,將可能因多個變量間的相關性而導致誤判,無法有效地偵測出製程的變異。
本研究之主要目的是使用主成份分析及Hotelling 多變量管制圖,來提高矽磊晶晶圓多品質製程管制之效率及可靠性。透過本研究建議的方法,可進一步找出矽磊晶晶圓內部多個品質特性在不同量測點之間、同批量晶圓之間、以及不同批量間的變異情形。此外,若品質成本資料可得,還可利用品質損失函數,另推導出新的管制界限。本研究最後以新竹科學園區某廠商的磊晶生長資料為例,說明及驗證本研究方法的可行性及有效性。

To control the multiple quality characteristics of epitaxial wafers, until now an effective control system has not been developed yet by industry. Conventionally, and R control charts are employed for each quality characteristic and a general conclusion is made based upon these separated control charts. However, a wrong conclusion may be obtained due to the correlations existed between quality characteristics. This study utilizes principal component analysis and Hotelling multivariate control charts to upgrade the efficiency and reliability of multivariate quality control for Epitaxy wafers. In addition, the quality loss function can be employed to adjust the control limit if quality costs can be obtained. An example of epitaxial wafer from an integrated circuits company in Taiwan is illustrated to verify the effectiveness of this proposed procedure.

中文摘要………………………………………………………………………………iii
英文摘要……………………………………………………………………………iv
誌謝.………………………………………………………………….……………v
目錄……………………………………………………………….…….….…vi
圖目錄………………………………………………………………….……..…….…vii
表目錄…………………………………………..……………………….……………viii
第一章 緒論………………………………………………………………………………1
1.1研究動機與目的……………………………………….…….….….……1
1.2研究方法………………………………………………….….….…….…3
1.3研究架構……………………………………………….……..……….…3
第二章 文獻探討…………………………………………………………….4
2.1 主成份分析簡介…………………….…..………….……..…..…………7
2.2 多變量管制圖簡介………………….…..………….….….………..……9
2.3 損失函數………………….……….……………..….…….……..………11
第三章 研究方法……………………………….………………………….……15
第四章 案例分析…………………………….…………………..…..…….……19
第五章 結論………………………………………………………………….…29
參考文獻…………………………………………………..…..…………….……30

1. Chen, Argon, and Guo, Ruey-Shan & Chun-Lin, “Statistical Monitoring of Thickness Data Using Bivariate Run Rules,”The Seventh International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1998
2. Montgomery, C. Douglas,“Introductionto Statistical Quality Control,”John Wiliey & Sons,Inc., 3rd edition, 1997, pp.364-366
3. Philips, D. Michael and Cho, Byung-Rae,”Quality Improvement for Processes with circular and spherical specification regions,”Quality Engineering, Vol.11, No.2, 1998-99, pp.235-243
4. Prins, Jack and Mader, Doug, ”Multivariate Control charts for grouped and individual observations,”Quality Engineering, Vol. 10, No. 1, 1997-98, pp.49-57
5. Runger, G. C., Alt, F. B. and Montgomery, C. D., “Controlling Multiple Stream Process with Principal Components,”International Journal of Production Research, 1996, Vol. 34, No. 11, pp.2991-2999
6. Sauers, G. Dale, ”Hotelling Statistic for Multivariate statistical process control:A nonrigorous approach,”Quality Engineering, Vol. 9, No. 4, 1997, pp. 627-634
7. Sauers, G. Dale, “Using the Taguchi Loss Function to reduce common-cause Variation,”Quality Engineering, Vol.12, No2, 1999-2000, pp.245-252
8. Sharma, Subhash, ”Applied Multivariate Technique,”John Wiley & Sons,Inc., 1996, pp.84-85
9. Wells, W. Stephen and Smith, D. James, ”Making Control Charts Work for You,” Semiconductor International , September, 1991
10. 莊寶鵰,「多變量 管制圖的應用」,品質管制月刊,1996,06月,pp.63-66
11. 陳佩如,「多特性多量測點資料管制流程之構建」,交通大學工業工程與管理碩士論文,1999
12. 林秀雄,「田口方法與品質工程」,新知企業管理顧問有限公司,1987,1月,pp.49-59

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top