跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(54.83.119.159) 您好!臺灣時間:2022/01/17 08:43
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:林俊廷
研究生(外文):Chun-Ting Lin
論文名稱:凹面柱狀型微光柵的設計與製作
論文名稱(外文):A Study on Design and Fabrication of Micro Cylindrical Concave Grating
指導教授:林烜輝
指導教授(外文):Shiuan-Huei Lin
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電子物理系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:84
中文關鍵詞:凹面型微光柵凹面型光柵DWDM光纖傳輸系統半導體製程技術ICP深蝕刻技術
外文關鍵詞:micro concave gratingconcave grating
相關次數:
  • 被引用被引用:11
  • 點閱點閱:260
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:1
本論文在探討凹面型微光柵的特性、設計與製作。旨在介紹如何利用近軸光學的古典理論,來設計一個適合於矽基材半導體製程製作之凹面型微光柵,並以密波長多工(DWDM)之光纖通訊所需之分光波長為應用的例子,來作實際的設計與製作。首先說明設計的方法與基礎,根據傳統光柵設計的理論,發展以羅倫圓為基礎的光柵設計的技巧,再利用海更斯(Huygens)的波前理論來分析所設計的凹面型微光柵之特性。最後,將介紹如何應用半導體製程技術來製作此凹面型微光柵,並展示所製作之微光柵。
The design, fabrication and measurement of a micro-concave grating for the DWDM fiber communication have been studied in this thesis. Firstly, by using the paraxial optics and ray tracing method, we have designed a methodology for fabricating a micro-concave grating on a silicon wafer, and demonstrated a designing example for a multiplexer in DWDM application. Then, a design principle and rule based on the Rowland circle approximation have been described. In theoretic, we characterize the diffractive properties of our concave grating by using Huygens’ wavelet principle. Finally, we have introduced the fabrication processes of our micro-grating using deep etching semiconductor fabrication technology. A concave micro grating with radius of , period of and resolution power of has been presented in experiment.
第一章 緒論
第二章 凹面型光柵的原理與設計
2.1 反射型光柵分光的基本原理
2.1.1 傾斜式光柵(Blazed Grating)分光原理
2.2 凹面光柵的特性
2.2.1 凹面型光柵的繞射與反射特性
2.2.2 理論模擬與分析
2.3 凹面型微小光柵之設計法則
2.3.1 設計步驟
2.3.2 光罩佈局的設計
第三章 凹面型光柵的理論分析
3.1 平面光柵的分光
3.2 凹面光柵的分析
3.3 輸出頻道數的分析
第四章 元件製程
4.1 光罩的繪製
4.2 半導體製程
4.2.1 光阻塗佈與光罩曝光、顯影定影
4.2.2 晶片蝕刻
4.3 曝光時間對於照相圖形的影響
第五章 結論
參考文獻
附錄A 模擬平面光柵繞射效率
附錄B 模擬凹面光柵繞射效率
[1] M. C. Hutley, ”Diffraction gratings”, National Physical Laboratory,1982
[2] Frank L. Pedrotti; S. J. Leno S. Pedrotti, “Introduction to Optics,” Pretice-Hall, Inc. 1993
[3] Harada T; Moriyama S; Kita T, “Mechanically ruled stigmatic
concave gratings,” Japanese Journal of Applied Physics, vol.14, suppl.14-1, 1975, pp 175-9
[4] Noda H; Namioka T; Seya M, “Design of holographic concave
gratings for Seya-Namioka monochromators,” Journal of the Optical Society of America, vol.64, no.8, Aug. 1974, pp 1043-8
[5] Stamatios V. Kartalopoulos, “Introduction to DWDM technology,”Lucent Technologies, Inc., 2000
[6] S. Janz, et. al., “Planar waveguide echelle gratings: an embeddable diffractive element for photonic integrated circuits”, IFC 2002, pp69-70(Mar.2002)
[7] Jian-Jun He, et. al., “Monolithic Integrated Wavelength Demultiplexer Based on a Waveguide Rowland Circle Grating in InGaAsP/InP,” Journal of Lightwave Technology, vol. 16, no. 4, Apa.1998, pp 631-638
[8] M. C. Hutley; W. R. Hunter, “Variation of blaze of concave
diffraction gratings,” Applied Optics, vol. 20, no. 2, 15 Jan. 1981, pp 245-50
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
無相關期刊