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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:紀森炫
論文名稱:集束型半導體製程設備模擬器之分析與物件導向設計
論文名稱(外文):Analysis and Object-oriented Design for Cluster Tool Simulator
指導教授:李安謙金甘平
指導教授(外文):An-Chen LeeKan-Ping Chin
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:機械工程系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:73
中文關鍵詞:實體迴路模擬模擬器集束型設備物件導向設計
外文關鍵詞:Hardware in the loopSimulatorCluster ToolObject-oriented Design
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本論文最主要的目的就是驗證集束型半導體製程設備控制器軟體。導入實體迴路模擬( Hardware in the loop)的概念,並使用此概念與UML工具設計一個以物件導向方式、即時模擬的集束型半導體製程設備模擬器(Cluster Tool Simulator)。除此之外,分析模擬器設計的所有考量因素,藉此縮短設計模擬器的時間,並使模擬器具備模擬正常反應、硬體失效、通訊失效的功能,進而能方便且正確的驗證控制器軟體。
This paper focuses on cluster tool controller software verification. Following the concept of hardware in the loop, we use the unified modeling language to design the object oriented in-time cluster tool simulator. In addition, we analyzed each of the design factors for the simulator, not only to save the design time, but also allow the simulator to have functions of normal response, hardware failure, and communication failure. This makes the simulator verify the controller software conveniently and correctly.
第一章 緒論
1.1 研究動機與目的
1.2 文獻回顧
1.3 本文組織架構
第二章 統一模型語言簡介
第三章 模擬器之探討
3.1 模擬器之分析
3.2 實體迴路模擬(Hardware in the loop)的概念
3.3 實體迴路模擬於控制器軟體驗證方法的分類
3.4 實體迴路模擬方法的應用
第四章 集束型半導體製程設備控制器系統
4.1 集束型半導體製程設備之硬體架構介紹
4.2 集束型半導體製程設備控制器之軟體部署架構
4.3 集束型半導體製程設備控制器之硬體部署架構
4.4 集束型半導體製程設備子系統之硬體架構
4.4.1 傳輸模組 ( TM )
4.4.2 前端模組 ( FEM )
4.4.3 製程模組 ( PM )
4.5 集束型半導體製程設備控制器軟體之物件導向架構
第五章 集束型設備模擬器之系統架構分析與設計
5.1 集束型設備模擬器之系統分析
5.1.1 傳輸模組模擬
5.1.2 前端模組模擬
5.1.3 製程模組模擬
5.2 集束型設備模擬器之系統功能設計
5.3 集束型設備模擬器之軟體元件設計
5.4 集束型設備模擬器之軟體類別設計
第六章 集束型設備模擬器之系統動態分析與設計
6.1 系統狀態分析
6.2 系統狀態設計
6.3 系統動態設計
第七章 模擬器之通訊介面
7.1 通訊需求分析
7.2 通訊介面之軟體設計
7.3 通訊介面之動態設計
第八章 系統軟體實作說明
8.1 程式介面
8.2 程式測試
第九章 結果討論與未來展望
9.1 結果討論
9.2 未來展望
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