跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(54.225.48.56) 您好!臺灣時間:2022/01/19 22:43
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

: 
twitterline
研究生:林宜鋒
研究生(外文):I-Feng Lin
論文名稱:鎢錯合物(tBuN)2W(NEt2)2在Si(100)表面的化學反應
論文名稱(外文):Surface Reaction of Tungsten Complex (tBuN)2W(NEt2)2 on Si(100)
指導教授:裘性天楊耀文楊耀文引用關係
指導教授(外文):Hsin-Tien ChiuYaw-Wen Yang
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:應用化學系
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:100
中文關鍵詞:表面前驅物金屬有機化學氣相沉積懸空鍵脫氫反應錯合物
外文關鍵詞:surfaceprecursorMOCVDdangling bondhydrogen eliminationcomplex
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:131
  • 評分評分:
  • 下載下載:19
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
鎢錯合物(tBuN)2W(NEt2)2在Si(100)表面的化學反應之研究可藉由程溫脫附法、低能量電子繞射及X光光電子能譜等方法來進行。由程溫脫附實驗所得到的結果,我們可以得知,反應過程中除了二乙基胺及第三丁基胺分子的脫附以外,在400 ~ 700 K之間,還有imine及isobutene的脫附,而來自於monohydride的H2脫附發生在810 K左右。由XPS數據顯示,在500 K左右開始有金屬鎢的形成,而在800 K以上,所有的鎢物種皆轉變成金屬鎢。依照上述論點,我們推論鎢錯合物(tBuN)2W(NEt2)2在Si(100)表面上反應大致如下:分子上的配位基逐步轉移到矽表面,接著進行類似胺分子的裂解,產生imine、isobutene及H2的脫附,最後表面形成金屬鎢、碳化矽及氮化矽。此外,我們利用O2+離子鈍化Si(100)表面,在此表面成長鎢錯合物(tBuN)2W(NEt2)2,在高溫可以得到氮化鎢及碳化鎢的薄膜。

The surface reaction of (tBuN)2W(NEt2)2 on Si(100) has been investigated using Temperature Programmed Desorption (TPD), Low-Energy Electron Diffraction (LEED) and X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS). TPD result shows that, besides molecular amine desorption, the (tBuN)2W(NEt2)2 precursor decomposes through hydrogen elimination at b and g sites, producing imine and isobutene, respectively, between 400 to 700 K. Additionally, hydrogen desorption occurs at 810 K, characteristic of monohydride desorption. XPS data show the incipient formation of tungsten metal begins at 500 K and the conversion to tungsten metal is completed at above 800 K. Taken together, the thermal decomposition of (tBuN)2W(NEt2)2 seems to proceed as follows. As the surface is heated, the precursor molecules gradually lose the amine ligands to the Si surface and the adsorbed amines then partially desorb and partially decompose via hydrogen eliminations to produce isobutene and imine.

目錄
頁碼
中文摘要…………………………………………………………………I
英文摘要………………………………………………………………...II
誌謝……………………………………………………………………..III
目錄……………………………………………………………………...V
圖目錄………………………………………………………………….VII
表目錄…………………………………………………………………..IX
第一章 緒論……………………………………………………………1
第二章 實驗儀器、方法與步驟………………………………………4
2.1 實驗儀器………………………………………………….4
2.1.1 實驗裝置…………………………………………..4
2.1.2 加熱系統…………………………………………..6
2.1.3 光譜技術………………………………………..7 2.1.4 真空系統………………………………………11
2.2 實驗方法………..……………………………………….11
2.2.1 樣品合成………………...……………………….11
2.2.2 實驗條件…………………………………………13
2.2.3 Si(100)的清潔…………...……………………...14
2.2.4 沉積方式…………………………………………14
2.2.5 SiO2薄膜的製備………………………………..14
2.2.6 數據處理…………………………………………15
第三章 結果…………………………………………………………..17
3.1 二乙基胺在Si(100)上的反應…………………………..17
3.1.1程溫脫附實驗結果……………………………….17
3.1.2光電子能譜的結果………………………………..18
3.2 (tBuN)2W(NEt2)2在Si(100)上的反應…………………20
3.2.1 程溫脫附實驗結果………………………………20
3.2.2 光電子能譜的結果………………………………21
3.3 (tBuN)2W(NEt2)2在SiO2上的反應……………………24
第四章 討論…………………………………………………………..27
4.1 矽的表面特性…………………………………………...27
4.2 二乙基胺在Si(100)上的表面化學……………………..29
4.3 (tBuN)2W(NEt2)2 在Si(100)上的表面化學……………33
4.4 機構探討………………………………………………...45
第五章 結論…………………………………………………………..57
第六章 參考文獻……………………………………………………..59

1. R Fix, R. G. Gordon, D. M. Hoffman, Chem. Mater. 1993, 5, 614
2. H. T. Chiu, W. P. Chang, J. Mater. Sci. Lett. 1992, 11, 96.
3. Hoffman, D. M. Polyhedron 1994, 13, 1169.
4. N. M. Rutherford, C. E. Larson and R. L. Jackson, Mat Res. Soc. Symp. Proc., 1989, 439, 1331
5. M. Bochmann, I. Hawkins and L. M. Wilison, J. Chem. Soc., Chem. Commun., 1998, 344
6. B. E. Bent, R. G. Nuzzo and L. H. Dubois, J. Am. Chem. Soc., 1989,
111, 1634
7. 楊恆傑, 鍾鴻欽, 劉全璞, “工業材料雜誌” 177期 90年 9月
8. O. H. Gokce, J. T. Sears and T. Sahin, J. Elec. Mat. 1996, 9, 1531
9. R. Madar and C. Bernard, J. Vac. Sci. Tech. A 1991, 8, 3
10. Y. Kusakabe, H. Ohnishi, T. Takahama and Y. Goto, Applied Surface Science, 1993, 70, 763
11. K. F. Jensen, Adv. Chem. Ser. 1995, 245, 397
12. J. G. Ekerdt, Y.M. Sun, A. Szabo, G. J. Szulczewski, , J. M. White, Chem. Rev. 1996, 96, 1499.
13. For example: (a)G. S. Girolami, P. M. Jeffries, L. H. Dubois, J. Am.Chem. Soc. 1993, 115, 1015. (b) Serghini-Monim S., Z. Yuan, K. Griffiths, P. R. Norton, R. J. Puddephatt, J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 4030. (c) H. C. Ho Yeung, G. T. Christos, J. W. Michael , J. Am. Chem. Soc. (d) M. J.A. Vasile, B. Emerson, F. A. Baiocchi, J. Vac. Sci. Technol. A 1990, 8, 99 (e) W. Fisher, J. Appl. Phys. 1970, 41, 3922
15. D.A. King, Surf. Sci. 1975, 47, 384
16. J. L. Falconer, J. A. Schwarz, Catal. Rev. Sci. Eng. 1983, 25, 14
18. 陳秀帆, “以化學氣相沉積法成長碳淡化鎢薄膜 ”, 國立交通大學碩士論文, 1998.
19. B. A. Banse, J. R. Creighton, Surf. Sci. 1991, 257, 221
20. J. R. Reighton, Surf. Sci. 1990, 234, 287.
21. A. J. Murrell, A. T. S. Wee, D. H. Fairbrother, N. K. Singh, J. S. Foord, J. Appl. Phys. 1990, 68, 4053.
22. ESCA Operator’s Reference Manual. ESCA Version 4.0 and Multi-
Technique Version 2.0; Perkin-Elmer Corp., Physical Electroniucs Di
-vision: Eden Prairie, MN, 1988.
23. D. P. Woodruff, J. Synchrotron. Rad. 1995, 2, 276
24. C. T. Chen., Nucl. Instrum. Methods 1987, 256, 595
25. H. N. Waltenburg, J. T. Yates., J. Chem. Rev. 1995, 95, 1589
26. Christopher P.A. Mulcahy, April J. Carman, sean M. Casey Surf. Sci. 2000, 459, 1
27. M.H. Qiao, Y. Cao, J. F. Deng, G. Q. Xu Chemical Physics Letters 2000, 325, 508
28. M. Ikeda, T. Maruoka, N. Nagashima, Surf. Sci. 1998, 416, 240
29. Ralph-Michael Rummel, Christiane Ziegler, Surf. Sci. 1998, 418, 303
30. X. Cao, R. J. Hamers J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 10988
31. C. C. Chang, I. J. Huang, C. H. Lung, H. Y. Hwang, and L.Y. Teng, J. Phys. Chem. B 2001, 105, 994
32. J. Murata, Y. Suzuki, N. Sanada, Y. Fukuda, Surf. Sci. 1994, 319, L13
33. H. T. Chiu, J. C. Lin, S. H. Chuang, G. H. Lee, S. M. Peng, J. Chin. Chem. Soc-Taip., 1998, 45, 355.
34. W. F. Bergerson, J. A. Mulder, R. P. Hsung, X. Y. Zhu, J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 454
35. X. Y. Zhu, J. A. Mulder, W. F. Bergerson, Langmuir 1999, 15, 8147
36. D. W. Robinson, J. W. Rogers, Appl. Surf. Sci. 1999, 152, 85
37. F. Bacalzo-Gladden, Xin Lu, M. C. Lin, J. Phys. Chem. B 2001, 105, 4368
38. P. A. Redhead, Vacuum 1962, 12, 203,
39. X. Cao, R. J. Hamers J. Phys. Chem B 2002, 106, 1840
40. X. Cao, S. K. Coulter, M. D. Ellison, H. Liu, J. Liu, R. J. Hamers, J. Phys. Chem. B 2001, 105, 3759

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
1. 林訓民(民81)。給孩子一生的愛--「台英世界親子圖畫書」出版理念。精湛季刊,16,30。
2. 沈添鉦(民80)。簡介「全語言」的語文教學。教師之友,32(4),27-32。
3. 李連珠(民80)。將圖畫書帶進教室─課室內的圖畫書。國教之友,43(2)29-36。
4. 呂俊甫(民82)。源自美國的「行動研究法」。美國月刊,8(2),124~128。
5. 王珮玲(民86)。幼兒鄉土教學模式-以台北市社子國小附幼為例。國教月刊,43,(90.10),7-12。
6. 周淑卿(民89)。中小學鄉土教育的問題與展望。課程與教學季刊,3(3),91-102。
7. 姚誠(民89)。從「意識」到「認同」--論台灣鄉土教育的建構。課程與教學季刊,3(3),1-16。
8. 夏林清(民89)。行動研究與中、小學教師的相遇。教師天地,105,4~8。
9. 張湘君(民82)。兒童讀物中老人角色之研究。臺北師院學報,6,163-186。
10. 張湘君(民84)兒童讀物「田園之春叢書」--另一種鄉土教學的資源。北師語文教育通訊,3,17-25。
11. 阮碧繡(民77)。幼兒的價值觀。國教之友,40(1),44-47。
12. 黃瑞琴(民80)。從建構論的觀點檢視幾個幼教教學現象。國民教育,32、(3.4),2-5。
13. 黃意舒(民84)。幼稚園教師之課程專業決定。教育研究雙月刊,42,20-29。
14. 楊叔卿(民82)。兒童圖畫書之探討。教育研究雙月刊,33,65-72。
15. 郭麗玲(民80)。在畫中說故事的「圖畫書」。社教雙月刊,46,20-33。