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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:萬振宇
研究生(外文):Wan Cheng - Yu
論文名稱:以六氟苯經電漿輔助化學氣相沉積非晶型低介電含氟碳膜
論文名稱(外文):Amorphous Low Dielectric Fluorinated Carbon Thin Film Grown from C6F6 by PECVD
指導教授:裘性天莊琇惠莊琇惠引用關係
指導教授(外文):Chiu Hsin—TeinChuang Shiow—Huey
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:應用化學系
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:48
中文關鍵詞:六氟苯電漿輔助化學氣相沉積含氟碳膜低介電含氟碳膜
外文關鍵詞:C6F6PECVDFluorinated Carbon Thin FilmLow Dielectric
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以C6F6為前驅物,以Si(100)矽晶片為基材,利用熱壁式反應器,經電漿輔助化學氣相沉積法來成長薄膜,並探討在不同電漿強度及不同退火溫度下,薄膜內的鍵結環境、物種組成及介電係數有何改變。

Fluorinated amorphous carbon films can be used as low dielectric constant interlayer dielectric materials. The films are deposited by using hexafluorobenzene (C6F6) as the source gas and argon as the carrier gas by PECVD.

頁 次
中文提要 .................................................................. I
英文提要 .................................................................. III
誌謝 .................................................................. IV
目錄 .................................................................. V
表目錄 .................................................................. VI
圖目錄 .................................................................. VII
第一章 緒論.......................................................... 1
第二章 實驗.......................................................... 3
2.1 試劑及來源.............................................. 3
2.2 矽晶片的清洗方法.................................. 4
2.3 低壓化學氣相沉積反應裝置及步驟...... 4
2.3.1 反應器裝置.............................................. 4
2.3.2 實驗步驟................................................. 5
2.3.3 低壓化學氣相沉積之實驗條件.............. 6
2.4 分析儀器.................................................. 7
第三章 結果與討論.............................................. 8
3.1 SEM對薄膜表面之分析......................... 8
3.2 薄膜沉積速率之分析.............................. 9
3.3 ESCA對薄膜之分析............................... 10
3.4 ESCA之成分定量分析........................... 11
3.5 FT — IR分析............................................ 14
3.6 TDS分析.................................................. 16
3.7 介電常數之量測...................................... 17
第四章 結論.......................................................... 19
參考文獻 .................................................................. 21

1.材料會訊第四卷第一期(86年3月號)
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