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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:蔡佶興
研究生(外文):Chi-Hsing Tsai
論文名稱:一個針對離子植入機之錯誤檢測與錯誤判別的方法
論文名稱(外文):A Method for Fault Detection and Fault Identification of Ion-Impanter
指導教授:林心宇
指導教授(外文):Shin-Yeu Lin
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:電機與控制工程系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:66
中文關鍵詞:模糊分類離子植入機錯誤檢測錯誤判別
外文關鍵詞:Fuzzy ClassifyIon-implanterFault DetectionFault Identification
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在本論文中,我們提出一針對半導體IC製造之離子植入機台Eaton NV6200錯誤檢測與錯誤判別之技術。我們先是就離子植入機與製程中所量測的資料參數加以了解。在錯誤檢測方面,先以Chebyshev Inequality建立出模型的架構,之後再使用模糊分類器建立出錯誤檢測之模型。再以訓練資料及測試資料來模擬驗證此系統之可行性。在錯誤判別方面,亦是使用模糊分類器來建立出錯誤判別之模型。再製作錯誤之資料來模擬驗證此系統之可行性。
In this thesis, we present a fault detection and fault identification technique for Ion-implanter Eaton NV6200 in semiconductor IC fabrication. We first review the Ion-implanter and its relation with the measurement data. Then in fault detection, we use Chebyshev Inequality to build the architecture of our model and use fuzzy classifier to build this model according to the architecture. The usefulness of such an approach is verified by simulations. Then in fault Identification, we also use fuzzy classifier to build the model of fault detection. The usefulness of such an approach is verified by simulations.
目 錄
中文摘要...………………………………………………………………………...1
英文摘要...………………………………………………………………………...2
誌謝...………………………………………………………………………………3
目錄...………………………………………………………………………………4
表目錄...…………………………………………………………………………...6
圖目錄...…………………………………………………………………………...7
第一章 緒論....……………...…………………………………………………..1
1.1 研究動機與目的...…..………………………………………………..1
1.2 研究方法與論文架構....…..………………………………………….1
第二章 離子植入製程機台之簡介說明....……………………………………4
2.1 離子植入機之簡介..…………………………………………………..4
2.1.1 離子源..……………………………………………………………5
2.1.2 萃取器..……………………………………………………………6
2.1.3 質量分析器..……………………………………………………...7
2.1.4 加速器..……………………………………………………………7
2.1.5 掃瞄裝置..………...………………………………………………8
2.2 製程量測之參數..……………………………………………………..8
第三章 模糊分類器..….………………………………………………………..9
3.1 模糊化.....……………………………………………………………...9
3.2 模糊規則庫.………………………………………………………….10
3.2.1 簡介.……………………………………………………………..10
3.2.2 模糊規則庫之建立.…………………………………………….11
3.3 推論引擎.…………………………………………………………….12
3.4 實例說明.…………………………………………………………….12
第四章 階層式分類系統...……………………………………………………15
4.1 階層式分類系統簡介說明.…………………………………………15
4.2 階層式分類系統第一部份.…………………………………………17
4.2.1 參數萃取..……………………………………………………….17
4.2.2 階層式分類系統第一部份之架構..…………………………...18
4.2.3 階層式分類系統第一部份之模糊規則庫…..………………..20
4.2.4 建立階層式分類系統第一部份....…………………………...21
4.3 階層式分類系統第二部份....……………………………………...23
4.3.1 Data Screen.….………………………………………………....23
4.3.2 參數萃取....…………………………………………………….23
4.3.3 階層式分類系統第二部份之模糊規則庫....………………..23
4.3.4 建立階層式分類系統第二部份...……………………………24
4.4 階層式分類系統演算法...…………………………………………25
第五章 階層式分類系統之實驗模擬..……………………………………..26
5.1 階層式分類系統_26...……………………………………………..26
5.1.1 參數萃取...………………………...…………………………..26
5.1.2 階層式分類系統_26第一部份之架構...……………………27
5.1.3 階層式分類系統_26第二部份之架構...……………………31
5.1.4 建立階層式分類系統_26...…………………………………..32
5.1.5 實驗模擬....…...……………………………………………….33
5.2 階層式分類系統_42...……………………………………………..35
5.2.1 參數萃取...….………………………………………………….35
5.2.2 階層式分類系統_42第一部份之架構....……………………35
5.2.3 階層式分類系統_42第二部份之架構....……………………37
5.2.4 建立階層式分類系統_42.……...……………………………..40
5.2.5 實驗模擬.……………………………………………………….41
第六章 錯誤判別系統...…...………………...………………………………48
6.1 錯誤判別系統第一部分...…..………..……………………………48
6.2 錯誤判別系統第二部分..……………..……………………………49
6.3 錯誤判別系統之實驗模擬.………...………………………………50
6.3.1 錯誤判別系統第一部分之實驗模擬.………………………...50
6.3.2 錯誤判別系統第二部分之實驗模擬.………………………...53
第七章 結論...…………………………………………………………………57
參考文獻..……………………………………………………………………….58
參考文獻
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