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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:蔣曉麟
研究生(外文):Shiao Ling Chiang
論文名稱:活性碳流體化床處理半導體廠有機溶劑製程排氣之研究
論文名稱(外文):A Research of VOCs Exhaust Treatment in Semiconductor Fab by Beads-shaped Activated Carbon Fluidized Bed
指導教授:傅武雄傅武雄引用關係
指導教授(外文):Wu-Shung Fu
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:產業安全與防災學程碩士班
學門:環境保護學門
學類:環境防災學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:59
中文關鍵詞:半導體廠有機溶劑製程排氣活性碳流體化床
外文關鍵詞:Semiconductor FabVOCs Exhaust TreatmentBeads-shaped Activated Carbon Fluidized Bed
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半導體廠VOCs(Volatile Organic Compounds)排氣大風量、低濃度與組成成份複雜的特性,造成處理技術在應用上的困難,本計畫在實際運轉的半導體廠中設置活性碳流體化床的系統來處理VOCs排氣,利用化學分析的方法,了解VOCs 排氣成份對活性碳吸附材與吸附機制的影響,並從實際的操作、測試與調整的過程中,研究活性碳流體化床的技術應用在處理半導體廠VOCs排氣時,所發生的問題與可能的解決方法,最後並驗證活性碳流體化床的技術實際應用在處理半導體廠VOCs排氣的結果,能否符合初設時所預期的目標。
A Research of VOCs Exhaust Treatment in Semiconductor Fab by Beads-shaped
Activated Carbon Fluidized Bed
Student:Shiao-Lin Chiang Advisor:Wu-Shung Fu
Master Degreeof Industry Safety and Risk Management
National Chiao Tung University
Abstract
Owing to the characteristics of large volume、low concentration and complicated compositions,there exists challenges for abatement technology to be applied on semiconductor Fab VOCs exhaust treatment。A Beads-shaped Activated Carbon Fluidized Bed System is set up to treat VOCs exhaust in an operational semiconductor Fab。Chemical analysis method is utilized to help verify the impact to activated carbon adsorbent and absorption mechanism by VOCs compositions。After test run、operation、parameter adjustment and certification,technical problems appeared and available solutions were evaluated。Finally the application of Beads-shaped Activated Carbon Fluidized Bed System on VOCs exhaust treatment in semiconductor Fab is verified if complying the target when this system was initially set up。
中文摘要………………………………………………………………… Ⅰ
英文摘要…………………………………………………………………… Ⅱ
誌謝………………………………………………………………………… Ⅲ
目錄………………………………………………………………………… Ⅳ
表目錄……………………………………………………………………… Ⅴ
圖目錄……………………………………………………………………… Ⅵ
符號說明…………………………………………………………………… Ⅶ
第一章 緒論……………………………………………………………. 1
第二章 活性碳對VOCs的吸附理論…………………………………… 9
第三章 系統流程與設備單元…………………………………………… 22
3.1 系統流程………………………………………………………… 22
3.2 設備單元………………………………………………………… 31
3.3 VOCs流體化床系統操作參數………………………………… 32
3.4 VOCs流體化床系統特性分析的實驗………………………… 33
第四章 結果與討論…………………………………………………….. 42
4.1 排氣溫度對吸附單元處理效率的影響………………………… 42
4.2 脫附溫度對吸附單元處理效率的影響………………………… 42
4.3 VOCs成份的影響………………………………………………… .46
4.4 BAC的 A.D.值對吸附單元的影響……………………………… .50
4.5 BAC的電阻值在脫附單元中的影響…………………………… 52
4.6 操作成本…………………………………………….…………… 54
第五章 結論…………………………………………………….…….. 57
參考資料…………………………………………………….….………… 58
參考資料
1. Code of Federal Regulation, CFR Title 40 : Protection of Environment,
Chapter 1-Environmental Protection Agency, Part 51-Requirement for
Preparation, Adoption, and Submittal of Implementation Plans, 51.100
Definition.
2. US EPA, Compendium Method TO-14A, Determination of Volatile Organic
Compounds(VOCs) in Ambient Air Using Specially Prepared Canister with
Subsequent Analysis by Chromatography, EPA 625/R-06/010b.
3.半導體製造業空氣污染管制及排放標準(88.4.7), 空氣污染防制法規, 行
政院環境保護署環境保護人員訓練所,中華民國八十九年七月.
4. 空氣中揮發性有機化合物檢測方法-不鏽鋼樣筒/氣相層析質譜儀法,中
華民國89年3月20日,(89)環署檢字第14374號公告,NIEA A715.11A
5. AJAY GUPTA of Dürr Environmental Inc.,VOC Abatement: Options and
Challenges in the Semiconductor Industry, Semiconductor FabABTECH,
Edition 6, Page 61, May 1997.
6. 水泥窯或旋轉窯使用廢溶濟作為輔助燃料認定原則,中華民國九十年
四月二日(90)環署廢字第0019749號函
7. Walter.Weber,Jr.,M.ASCE, Evolution OF A TECHNOLOGY, Journal of
Environmental Engineering, Vol.110, No.5, October,1984
8. R.T. Liu, Operating and Maintaining Buildings for Health, Comfort, and
Productivity, ASHRAE IAQ ''93 Conference, Philadelphia, Pennsylvania,
November 1993.
9. Walter.Weber,Jr.,M.ASCE, Evolution OF A TECHNOLOGY, Journal of
Environmental Engineering, Vol.110, No.5, October,1984
10. 排放管道中總碳氫化合物及非甲烷總碳氫化合物含量自動檢測方法-
線上火燄離子化偵測法,中華民國87年11月16日,(87)環署檢字第
77198號公告,NIEA A723.71B
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