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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:李谷蘭
研究生(外文):Lee ku lan
論文名稱:建立半導體業廢水處理績效指標之研究
論文名稱(外文):Establishment of environmental performance index for waste water treatment in Semiconductor’s factory
指導教授:黃志彬黃志彬引用關係
指導教授(外文):CPhuang
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:產業安全與防災學程碩士班
學門:環境保護學門
學類:環境防災學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:113
中文關鍵詞:績效指標
外文關鍵詞:performance index
相關次數:
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本文利用層級分析法(AHP)應用於環境績效指標項目規劃與量化。並藉由名目尺度(Nominal Scale)1,3,…,9的比例尺度給與各評估指標間的相對量化重要性,並進行成對比較。問卷結果利用Expert Choice軟體來進行AHP資料分析,計算其特徵值(Eigenvalue)及優先向量(Priority Vector)與解釋可得到各評估準則間相對權重的大小。
利用此設計方法可將複雜的問題由不同的角度系統化,可建立廢水處理績效評估工具,並且透過不同族群問卷調查結果比對,瞭解利害相關團體及半導體業者本身對廢水處理代表性績效指標結果不盡相同,故需進行績效溝通。
問卷結果得到半導體廠廢水處理績效標的為「污染源管理」,績效考量構面著重於「線上回收設施規劃」與「廢水分流方式」。篩選出代表性與量化績效指標共11項分別為:異丙醇使用端回收、廠內用水回收、高濃度氟廢水分流、廢有機溶劑廠內再利用、水力停留時間控制、硫酸使用端回收、調勻池規格設計、多段式反應池規格設計、沉澱池規格設計、多段式酸鹼值調整、備用處理系統規劃。

The purpose of this study in using the Analytical Hierarchy Process are to identify the Performance Index and to quantity index.The weight comparisons for index evaluation utilize the nominal scale and set the matrix. The results of questionnaire analyzed by the expert choice software are utilized to calculate the Eigenvalue and Priority Vector.
The result build up a assessment tool for environmental Performance Index for Wastewater Treatment by systematize the complicated problems from various views by disassembling them into different hierarchies.We also know the different opinion in Performance Index for Wastewater Treatment from different groups .So the environmental communication is very important.
The performance target of wastewater treatment is set as the process pollution management. The performance aspects of wastewater treatment focus on the online recycling system and classification of waste streams. Top 11 items of the performance indicators of wastewater treatment are determined from total 54 items of preliminary selections. Finally, it is acknowledged that there must exist different recommendations on performance indicators of wastewater treatment among different parties. So the performance communication with interesting party is required.

中文摘要 Ⅰ
英文摘要 Ⅱ
目錄 Ⅲ
表目錄 Ⅴ
圖目錄 Ⅶ
第一章、續論 1
1.1 研究動機 3
1.2 研究目的 3
第二章 背景資料收集及文獻回顧 5
2.1 背景資料收集 6
2.2 文獻回顧 11
第三章 研究方法 17
3.1 績效指標設計 20
3.2. 問卷設計與訪查對象規劃 23
3.3 問卷結果量化計算 26
第四章 結果與討論 30
4.1 績效指標建立結果 30
4.2 半導體廠廢水處理問卷調查結果 38
4.3 新竹地區水品質績效指標問卷結果 56
4.4 代表性績效指標選定與討論 62
第五章 結論與建議 79
5.1 結論 79
5.2 建議 80
參考文獻 82
附錄 87  
附錄一 廢水處理操作績效指標關鍵因子影響程度調查問卷 87
附錄二 新竹地區水環境品質績效影響因子相對重要性問卷 103
附錄三 訪查專家委員名單 112
表目錄
表2-1 環保陳情事件及其環境績效溝通影響因子 6
表2-2 客雅溪與頭前溪水環境品質永續發展指標影響因子 8
表2-3 分析階層程序法運用之相關文獻整理 13
表2-4 環境績效指標彙總表。 14
表3-1 廢水處理績效指標建立原則 21
表3-2 新竹地區水品質績效指標建立原則 23
表3-3 AHP法的評估尺度與說明 24
表3-4 訪查對象範圍說明 26
表4-1 廢水處理風險影響因子 31
表4-2 新竹地區水品質風險影響因子 33
表4-3 全部專家之廢水處理環境作業績效標的權重計算 40
表4-4 全部專家廢水處理之環境考量構面因子權重計算 40
表4-5 全部專家廢水處理之環境作業績效指標權重計算 41
表4-6 產業專家之廢水處理環境作業績效標的權重計算 45
表4-7 產業專家廢水處理之環境考量構面因子權重計算 46
表4-8 產業專家廢水處理之環境作業績效指標權重計算 46
表4-9. 半導體業廢水處理防護現況調查 49
表4-10 全部專家對新竹地區水品質績效目標權重計算數值 56
表4-11 全部專家對新竹地區水品質績效目標權重計算數值 57
表4-12 產業專家對新竹地區水品質績效目標權重計算數值 58
表4-13 產業專家對新竹地區水品質績效考量構面權重計算數值 58
表4-14 新竹地區水品質防護現況調查結果 60
表4-15 半導體廢水處理績效查核設計 63
表4-16 半導體廢水處理績效自評 65
表4-17 績效目標改善排序 69
表4-18 績效考量面改善排序 69
表4-19 績效指標改善排序 70
圖目錄
圖2-1 半導體製程中廢水污染物發生源 10
圖2-2 AHP決策流程 12
圖3-1 研究流程 19
圖4-1 廢水處理操作績效指標影響因子層級 33
圖4-2 污染源管理績效指標影響因子層級 34
圖4-3 設施設計績效指標影響因子層級 35
圖4-4 運轉維護績效指標影響因子層級 36
圖4-5 新竹地區水環境品質績效影響因子層級 37
圖4-6 廢水處理績效目標防護程度 53
圖4-7 廢水處理績效考量面防護程度 53
圖4-8 設施設計防護程度 54
圖4-9 污染源管理防護程度 54
圖4-10 運轉維護防護程度 55
圖4-11 水品質績效目標防護滿意度 61
圖4-12 水品質績效指標防護滿意度 62
圖4-13 廢水處理績效目標分析 74
圖4-14 廢水處理績效考量構面分析 75
圖4-15 污染源管理妥善率分析 76
圖4-16 設施設計妥善率分析 76
圖4-17 運轉維護妥善率分析 77

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