跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(54.224.117.125) 您好!臺灣時間:2022/01/23 19:35
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:李東諺
論文名稱:微小元件於LIGALIKE製程上之研究
指導教授:張榮森張榮森引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:光電科學研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2001
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:97
中文關鍵詞:LIGA 製程準分子雷射微機電系統微渠道生物晶片
外文關鍵詞:LIGA ProcessExcimer LaserMEMSMicroFludicBioChip
相關次數:
  • 被引用被引用:7
  • 點閱點閱:188
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:1
LIGA技術起源於德國,可用已製造高精密度的微結構元件,目前在微光學元件的製作上已扮演相當重要的角色。
本論文之研究為利用LIGA LIKE製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作,方法是使用KrF、波長248nm之深紫外光準分子雷射,透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩,經由投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時,透過移動光罩之平台,選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微小元件。
為了要改善LIGA LIKE製程所造成微元件表面的粗糙度,以符合我們所需要的標準,因此我們想了一種方式來改善我們所製作出來的微小元件表面粗糙度,我們在製作出來的元件上塗佈一層光阻,由於光阻為一黏稠性的液體,故可明顯改善表面的粗糙度,進而改善我們製作的微光學元件或任何利用LIGA LIKE製程所加工之後的元件表面的品質,進而應用至其他的相關製作流程上。
本文另外由將這項方法利用到製作微小生物晶片檢測平台的製作上,利用塗佈光阻藉以改善表面粗糙度的方式,使得我們所做出來的微流道(Micro flow)能夠表面光滑,使得我們利用準分子雷射所切割之微小晶片能夠在微流道之中順利的流動,再經由我們所架設之基因檢測平台判別出各種不同的感染螢光基因,而完成一個精密且價格便宜的生物基因晶片檢測系統。
目錄……………………………………………………………………3
圖表索引………………………………………………………………5
論文摘要……………………………………………………………….9
第一章、 歷史背景回顧……………………………………………11
1.1 微光學之發展…………………………………………………11
1.2 LIGA製程技術簡介…………………………………………..12
1.2.1 LIGA製程的光源……………………………………….13
1.2.2 LIGA製程的主要特色………………………………….14
1.3類LIGA(LIGA-LIKE)製程技術簡介………………………15
第二章、 準分子雷射加工技術……………………………………17
2.1 準分子雷射的原理……………………………………………17
2.2 準分子雷射的加工機制………………………………………18
2.3 準分子雷射系統架構…………………………………………21
2.3.1 準分子雷射控制模組……………………………………23
2.3.2 準分子雷射光刻方式……………………………………25
第三章、 微小元件的設計與製作………………………………….30
3.1 光罩之設計與製作…………………………………………….30
3.1.1 直角錐狀反射鏡…………………………………………33
3.1.2 微透鏡……………………………………………………33
3.1.3 切割微小晶片格子狀光罩………………………………34
3.1.4 切割微小晶片多邊形光罩………………………………36
3.1.5切割微小晶片之圓形光罩……………………………….38
3.2微光學元件之製作……………………………………………40
第四章、 微光學元件表面粗糙度之量測及改善………………….57
4.1 微光學元件表面粗糙度量測………………………………...57
4.1.1 粗糙度的定義……………………………………………57
4.1.2 加工表面粗糙度檢測……………………………………62
第五章、 微小生物晶片檢測平台之製作及分析………………….73
5.1 生物晶片簡介………………………………………………..74
5.2 使用各材質製作微小生物晶片之結果……………………..78
5.3 微流道系統的製作…………………………………………..86
第六章、 結論與討論………………………………………………88
6.1 誤差原因探討……………………………………………….88
6.1.1 LIGA LIKE製程上的誤差……………………………..88
6.1.2 量測上的誤差………………………………………….89
6.2 改進方法……………………………………………………90
6.3 生物晶片檢測平台之討論…………………………………91
6.4 結論…………………………………………………………91
參考文獻………………………………………………………………93
1. Wang, Shuh-Yi; Chou, Hsau-Yu; Lee, Tone-Yen;
Chang, Rang-Seng,Improvement on the surface roughness of microlens array in the excimer laser machining process,SPIE Vol.4561(2001)
2.楊啟榮,微系統LIGA製程技術簡介,(1998)
3.王述宜、黃永翔、周曉宇,準分子雷射三次元加工之研究,(1999)
4.羅德亨,微光學元件之製作與量測,中央光電所碩士論文(2000)
5.馬立人、蔣中華,生物晶片(1998)
6. 周敏傑,LIGA製程技術發展現況,機械工業雜誌,元月,(1996)
7. R.S.Chang 、C.Y.Chen,The Application of the Traffic Signs by Micro-Prism Array,台灣光電科技研討會,(1999)
8. J.Y.Sheu、 R.S.Chang、C.H.Lin,Discrete Wavelet Transform for Interferogram Fringe Pattern Analysis,台灣光電科技研討會,(1999)
9. 蔣中華等,生物分子固定化技術及應用(1998)
10.王志方,材料表面測定技術,(1994)
11. S.Sinzinger and J.Jahns,Microoptics,(1999)
12. P.H.Hans,Micro-Optics,Taylor & Francis Ltd.(1997)
13. K.J.Gasvik,Optical Metrology,(1995)
14. D.Malacara,Optical Shop Testing,(1992)
15. S.Sinzinger and J.Jahns,Applied Optics,36(20),4729(1997)
16. 劉海北,雷射在工業上的應用技術,光電科技工業協進會,(1996)
17. 周曉宇、張世彬、林暉雄、楊啟榮、羅國軒、郭文凱,台灣光電科技研討會,III-D-4,437(1997)
18. 張勝雄、劉海北,光電資訊, 22,26,(1995)
19. 胡錦標,精密光電技術,高立圖書,(1992)
20. Larry J.Kricka.Miniaturrization of analytical systems.(1998)
21. M.T.Gale、M.Rossi、J.Pedersen and H.Schutz,Optical Engineering,33(11),271(1994)
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top