跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(3.229.124.74) 您好!臺灣時間:2022/08/11 07:45
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

: 
twitterline
研究生:黃佩琳
研究生(外文):Pei-Lin Huang
論文名稱:晶圓製造業環境績效評估指標之建立研究
論文名稱(外文):The Evaluation of Environmental Performance Evaluation Indicators Establish for Wafer Manufacturer
指導教授:林明瑞林明瑞引用關係楊致行楊致行引用關係
指導教授(外文):Min-Ray LinJ.H Young
學位類別:碩士
校院名稱:臺中師範學院
系所名稱:環境教育研究所
學門:教育學門
學類:普通科目教育學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:204
中文關鍵詞:晶圓製造業環境績效評估指標德懷術法環境管理系統
外文關鍵詞:Wafer manufacturerEnvironmental Performance Evaluation IndicatorsDelphi TechniqueEnvironmental Management System
相關次數:
  • 被引用被引用:31
  • 點閱點閱:1034
  • 評分評分:
  • 下載下載:308
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:5
自1999年11月國際標準組織公告ISO 14031以後,環境績效評估指標的建立及實施,成為企業診斷其組織環境問題及評估其環境績效的有利工具,並藉此展現其對社會的責任及關懷。由於晶圓產業為台灣高科技產業中的龍頭產業,於民國89年半導體產業產值為224億元美元,所以本研究擬建置對此產業環境效益有幫助的環境績效評估(EPE)指標,並進行相關研究。
本研究擬建立一套晶圓製造產業可全面適用的環境績效評估(EPE)指標,提供給業界、政府、及一般利害相關者,當作評鑑環保績效好壞之依據。首先,考量此產業在經濟、環境和社會等三方面所受的壓力和衝擊,依指標性質及ISO14031架構將環境績效評估指標分成操作績效指標、管理績效指標和環境狀態指標等三大類群,根據晶圓製造工廠生產流程,將環境績效評估指標分為原物料來源、生產流程、污染防治、環境管理、工業安全、企業環保形象以及產品包裝與環保化設計等七類群,初步建立「晶圓製造產業環境績效評估指標問卷」,透過3位產業及學者專家修訂後,接著進行包括產、官、學、研界共20位專家學者之德懷術研究法(Delphi Technique),針對本研究初步擬定之環境績效指標內容適用性、重要程度、工廠問卷表格形式及環境績效計分方式,分別給予意見及權重,經過三次專家學者的意見彙整及修正後達成共識;將修正後的指標編製成「晶圓製造產業環境績效指標綜合評估表」之問卷進行產業調查及實地訪談,其研究對象為15家晶圓晶圓製造公司,問卷回收率為93.3﹪,而受訪對象為10家公司之環保單位主管。
德懷術研究之結果顯示,環境績效評估指標中的操作績效指標計有35項指標,管理績效指標計有41項指標,環境狀態指標計有8項指標,共84項指標;在整體生產流程七大類群指標中,最重要的是「污染防治」,其次為「生產流程」類別,而最不重要為「原物料來源」類群;以各類群單一指標重要性程度而言,以「工業安全」類群為最重要,其次為「生產流程」、「污染防治」類群,最不重要者為「企業環保形象」類群。
晶圓製造產業目前執行環境績效現況之結果顯示,以「工業安全」類群成效最佳,其次為「環境管理」、「生產流程」,再其次為「污染防治」、「原物料來源」與「企業環保形象」;而表現最差的是「產品包裝與環保化設計」。產業環境績效原始總分的平均值為54.1分,最大值為89.4分,高標為65.4分,低標為37.1分,多數廠商的環境績效平均集中於40-65分之間,而由「生產流程」和「污染防治」等為最主要影響總分之類群。
綜合而言,未來晶圓製造公司仍需在環境績效方面多作努力,可由「生產流程」和「污染防治」類群著手,並繼續保持執行成效較佳的「工業安全」類群指標,最後期能加強改善表現最差的「產品包裝與環保化設計」類群。
Since the International Organization for Standardization announced ISO 14031in November of 1999, the development of indicators in environmental performance evaluation (EPE), and the implementation EPE of environmental performance evaluation becomes an useful tools for enterprises to diagnose their environmental issues and to evaluate the environmental performance, which shows organization’s responsibility and care to the society. Due to the fact that wafer manufacturers are the heading industry among high technology industries, it produces US $224 million in 2000. This study developed EPE indicators of wafer manufacturers and was focused on being connected study.
In this research, a set of Environmental Performance Evaluation (EPE) for indicators overall suitable for a wafer manufacturer was established to provide the industry, the government, and the related people a criterion of evaluating organization’s environmental performance. Firstly, economical, environmental, and social aspects of impact were considered, the indicators were also classified into three groups: Operation Performance Indicators (OPI), Management Per formance Indicators (MPI), and Environmental Condition Indicators (ECI) based on the nature of the indicators and the framework of ISO 14031. Moreover, the indicators were classified into seven groups following overall production process: material sources, production process, pollution control, environmental management, industry safety, enterprise’s image of environmental protection, and product packing / design for environment based on the production process of this industry. ‘‘Questionnaire for EPE indicators for wafer manufacturer’’ was initially made, revised, investigated by 20 experts from industry, government and academia using Delphi Technique. The applicability, significance, questionnaire format and environmental performance-scoring manner of original environmental performance evaluation indicators were suggested and evaluated. The consensus was achieved after three rounds of Delphi Technique; the revised indicators was edited into the “the comprehensive evaluation questionnaire for environmental performance evaluation indicators of wafer manufacturer” and conducted industrial investigation and on-site interview. The study subjects were 15 wafer manufacturer companies and the recovering rate of questionnaire was 93.3% with directors of environmental protection unit of 10 companies being interviewed
In this Delphi Technique it is shown that 35 OPIs, 41 MPIs, 8 ECIs, and totally 84 indicators were established. Among the seven groups of indicators classified based on production process, “pollution control” indicators is the most important, followed by “product process” indicators with “material sources” being the less important. Based on the mean value of significance of all indictors, “industry safety” is the most important, followed by “production process”, “pollution control” with “enterprise’s image of environmental protection” being the less important.
In the execution status of the wafer manufacturer, “industry safety” is the best one, follow in order by “environmental management”, “production process”, then “pollution control”, “material sources”, “enterprise’s image of environmental protection”. While, “product packing / design for environment” is the least one. The overall average score of EPE is 54.1 with a maximum being 89.4, a high standard score being 65.4 and a low standard score being 37.1.The most environmental performance score range of industry in 40~65, and production process and pollution control have most influence environmental performance score.
In summary, the industry should strive in environmental performance which can be started from “production process” and “pollution control”, keep on the better performed “industry safety”, and augment to improve the worst performed “product packing / design for environment” aspect.
中文摘要Ⅰ
英文摘要Ⅲ
目錄Ⅴ
圖目錄Ⅶ
表目錄Ⅷ
第一章 緒論1
第一節 研究背景與動機1
第二節 研究目的3
第三節 重要名詞釋義3
第二章 文獻回顧6
第一節 晶圓製造產業現況介紹6
第二節晶圓製造產業環保先進技術之研究20
第三節環境績效評估發展現況探討27
第三章 研究方法43
第一節研究架構及流程43
第二節環境績效指標建立部分48
第三節晶圓製造廠問卷調查及訪談部分52
第四章結果與討論58
第一節 晶圓製造產業環境績效評估指標之建立58
第二節 晶圓製造工廠之問卷統計結果73
第三節 晶圓製造工廠之訪談結果119
第四節 專家德懷術問卷與晶圓製造廠問卷結果之比較130
第五章結論與建議134
第一節 結論134
第二節 建議138
參考文獻 140
中文部分140
英文部分144
附錄147
附錄一 第一次專家德懷術問卷調查表147
附錄二 本研究選定環境績效指標原則156
附錄三 第二次專家德懷術問卷調查表159
附錄四 第三次專家德懷術問卷調查表174
附錄五 德懷術研究之專家名單179
附錄六 晶圓製造業之環境績效指標綜合評估表180
附錄七 晶圓製造業之操作績效指標的德懷術統計結果192
附錄八 晶圓製造業之管理績效指標的德懷術統計結果194
附錄九 晶圓製造業之環境狀態指標指標的德懷術統計結果196
附錄十 晶圓製造產業之專家德懷術最後結果197
附錄十一 總生產流程與指標關係圖200
附錄十二 環境績效各指標各工廠之綜合評估201
圖 目 錄
頁次
圖2-1 晶圓製造流程圖11
圖2-2 環境化設計的內涵25
圖2-3 環境績效評估指標之內容及其分類33
圖2-4 建立環境績效評估指標流程圖38
圖3-1 本研究架構圖45
圖3-2 本研究流程圖47
圖4-1 各工廠用水量統計分析圖83
圖4-2 各工廠用電量統計分析圖83
圖4-3 產業環境績效分析圖108
表 目 錄
頁次
表2-1 我國IC產業發展概況8
表2-2 台灣半導體產業的SWOT因素分析9
表2-3 晶圓製造產業空氣污染種類與成分12
表2-4 廢棄物產生源與種類15
表2-5 新竹科學園區半導體廠廢液產生量16
表2-6 晶圓製造業之相關空氣、水污染法規19
表2-7 晶圓製造業國內外相關減廢技術22
表2-8 環境績效評估與環境稽核之差異性31
表2-9 ISO14031 之環境績效評估指標分類表34
表2-10 環境績效評估指標之相關研究35
表2-11 本研究所歸納環境績效評估指標類群表36
表2-12 環境績效評估指標類群之相關文獻彙整36
表2-13 清潔生產指標37
表2-14 半導體產業環境績效評估指標37
表3-1 晶圓製造產業之操作績效指標的德懷術統計結果53
表3-2 晶圓製造產業之管理績效指標的德懷術統計結果54
表3-3 晶圓製造產業之環境狀態指標的德懷術統計結果55
表4-1 第一次德懷術問卷中操作績效指標專家意見彙整及指標
修正內容60
表4-2 第一次德懷術問卷中管理績效指標專家意見彙整及指標
修正內容63
表4-3 第一次德懷術問卷中環境狀態指標專家意見彙整及指標
修正內容64
表4-4 第二次德懷術問卷中操作績效指標專家意見彙整及指標
修正內容65
表4-5 第二次德懷術問卷中管理績效指標專家意見彙整及指標
修正內容66
表4-6 第二次德懷術問卷中環境狀態指標專家意見彙整及指標
修正內容67
表4-7 四類專家對單一指標之重要性程度認定達顯著之項目指標69
表4-8 工廠查核表形式和總分計算方式之合理性統計69
表4-9 三類環境績效評估指標之配分比例調查結果70
表4-10 依生產流程之環境績效評估指標的比較結果71
表4-11 填答者基本資料統計結果73
表4-12 工廠基本資料統計結果76
表4-13 各工廠操作績效指標之綜合表現結果79
表4-14 操作績效指標之生產流程指標數據分析82
表4-15 操作績效指標之生產流程指標數值彙整84
表4-16 操作績效指標之水污染指標數據分析85
表4-17 操作績效指標之水污染指標數值彙整86
表4-18 操作績效指標之空氣污染指標數據分析88
表4-19 操作績效指標之空氣污染指標數值彙整89
表4-20 操作績效指標之廢棄物及其他污染物指標數據分析90
表4-21 操作績效指標之廢棄物及其他污染物指標數值彙整91
表4-22 各工廠管理績效指標之綜合表現結果92
表4-23 管理績效指標之原物料來源指標數值彙整95
表4-24 管理績效指標之污染防治指標數值彙整96
表4-25 管理績效指標之環境管理指標數值彙整99
表4-26 管理績效指標之工業安全指標數值彙整100
表4-27 管理績效指標之產品包裝與環保化設計指標數值彙整101
表4-28 管理績效指標之企業環保形象指標數值彙整102
表4-29 各工廠環境狀態指標之綜合表現結果103
表4-30 環境狀態指標指標數值彙整103
表4-31 環境績效評估指標分數比較107
表4-32 環境績效指標分數分析107
表4-33 環境績效指標原始總分與百分等級對照表108
表4-34 工廠執行環境績效評估指標群的比較結果109
表4-35 七大類群總分分析110
表4-36 10家廠商之訪談結果摘要120
表4-37 PFCs物質之大氣生命週期與溫室效應指數一覽表122
表4-38 專家問卷與工廠問卷之重要性判定相同、相異之處132
表4-39 專家與廠商認定重要性之類群與指標133
一、中文書目:
丁執宇(民86)ISO14040生命週期評估架構之探討與應用。台北:國立台北大學碩士論文。
丁執宇、謝哲松(民89) 積體電路業環境管理系統建製及清潔生產技術。化工資訊,14(5),13-23。
中國時報(90.3.22)科學園區地下水發現三氯乙烯。第18版。
中國時報(90.7.27)風城河川監測報告出爐。第18版。
中國時報(90.7.6)園區排水口測出有毒物質。第18版。
王之清(民87)半導體製造技術演進。
http://mta.acertwp.com.tw/twpfile/magdata.nsf/byumid/m14825
王文科(民88) 教育研究法。台北:五南圖書出版公司。
王興毅(民88) 半導體產業發展現況。工程,72(3),2-8。
申永順(民89)企業環境報告書中環境績效指標系統之建立。環境管理研討會論文集,B3-15~B3-42。台北:經濟部工業局。
白曛綾(民89)園區半導體製造業廢氣處理及排放調查研究。計畫編號:NSCSIPA88189LRD07。
朱家棟、李柏毅、林會燕、林玲妃、周姚君、徐康沛、陳朝智、張啟容、張薰仁、黃達人、黃銘章、黃逸平、黃建智、詹晉宗、楊蔌熙、劉惠鳳、劉郁雯、賴麗秋、簡佩萍、蘇世界、羅騎瑩(民89)半導體趨勢圖示。台北:大椽出版有限公司。
江玄政(民89) ISO14031環境績效評估(EPE)。整合性環境管理後續輔導計畫ISO14000環境管理系列標準講習會。台北市:經濟部工業局。
行政院國科會科學工業園區管理局(民88)88年度新竹科學工業園區環境保護白皮書。新竹:科學工業園區管理局。
余榮彬(民89) 台灣半導體全氟化物排放減量近況。台灣半導體產業協會簡訊,7,10-12。
吳秀東(民89)半導體廠推行環境績效評估之案例探討。2000環境管理研討會論文集,B1-53~ B1-71。台北市:經濟部工業局。
吳秀東、吳修閘(民88a) 工廠導入環境績效評估實例介紹。環境管理報導,15,19-21。
吳秀東、吳修閘(民88b) 建立環境績效評估執行流程及方法介紹。工業污染防治報導,139,6-8。
吳秀珍(民87) 台灣半導體產業前景概觀。台研兩岸產業投資,3,2-9。
吳統雄(民83)電話調查:理論與方法。台北:聯經出版社。
呂慶慧、鄭智和、楊維鈞(民90)高科技產業廢棄物資源化技術評析。工業污染防治,77,43-56。
宋德全(民89)環保化設計國內外現況與未來展望。2000年生命週期評估與環保化設計研討會,1-11,台北:經濟部技術處。
李文亮、莊耀瑋、張炳坤(民89) 安全衛生環保管理系統建置實務。2000環境管理研討會論文集, A3~47-A3~58。台北市:經濟部工業局。
李育明、吳景煌(民89) 環境績效指標之評選與應用。2000環境管理研討會論文集,B1-1-14。台北市:經濟部工業局。
李俊易(民89) 高科技產業執行ISO14001績效評鑑之研究-以新竹科學工業區為例。新竹:中華大學碩士論文。
卓雅文(民90) 半導體產業環境與安全衛生績效指標之研究。雲林縣:國立雲林科技大學碩士論文。
林志森(民89) ISO14000環境管理發展趨勢介紹。整合性環境管理後續輔導計畫ISO14000環境管理系列標準講習會。台北市:經濟部工業局。
林茂勳(民86)一般氣體及特殊氣體的供應及監控。電子月刊,3(9),86-92。
林盛隆、賴明伸、謝青霖、陳宏仁(民85)環境績效評估之應用與探討。第九屆環境管理研討會論文集。117-122。桃園縣:中央大學。
林雯瑜、湯奕華、陳文輝(民89) 由工業減廢/環境管理談環境績效量化之方法與工具。2000工業減廢暨永續發展研討會論文集,1-15。台北市:經濟部工業局。
邱作基(民86) 積體電路工業清潔生產技術指標探討(I)。清潔生產資訊雙月刊,14,25-43。
柯宏澤(民88) 積體電路工業(IC)。產業經濟,217, 49-55。
段旭明(民89) 台灣高科技產業發展之政治經濟分析:以半導體產業為例。台北市:國立台北大學碩士論文。
洪肇嘉、卓雅文、吳修閘、莊耀偉、李文亮(民89)建立環境與安全衛生績效指標的方法及實務運用。工業污染防治,74,118-144。
胡憲倫(民89)二十一世紀企業經營的新思維。環境管理研究,1(1),49-76。
陳文輝(民86) 半導體製造業工業減廢技術。電子月刊,3(9),115-122。
陳文輝、吳福安(民86) 半導體工業減廢技術介紹(上)。工業污染防治報導,115,4-6。
陳宗水、黃建宜(民90) 地球溫室效應與半導體產業。科學園區簡訊,230,10-12。
陳家豪(民89)環保化設計之評估方法。環保化設計實務研討會,5-1~5-32。台北:行政院環保署。
彭政國、王白雲(民86) 半導體晶圓廠廢水廢氣處理系統介紹。電子月刊,3(9),100-114。
貿易快訊(89.9.30) 全球未來幾年需求持續不衰,第十版。
黃文輝,謝哲松(民89) 環境績效評估的系統化架構。http://emt.ema.org.tw/relativeissue/session-6.htm
黃台陽(民90)半導體工業全球競爭力之發展願景與策略。第四屆全國工業發展會議。http://www.cnfi.org.tw/industry/index.html
黃正忠(民89) 生態效益及其指標。2000年清潔生產/生態效益與環境績效指標研討會, 1-16。台北市:經濟部工業局。
黃志彬(民90)半導體廠製造業化學機械研磨廢水特性及處理。工業污染防治,79,125-157。
黃國晉(民89) 台灣半導體產業發展趨勢。零組件雜誌,101,113-128。
黃曉嵐(民86) ISO14031環境績效評估介紹。工業污染防治報導,114,9-10。
楊致行(民88) 環境化設計之作業架構及技術工具。清潔生產資訊雙月刊,27,20-34。
楊致行(民89)環境化設計之理論及工具。如何提升產業綠色競爭力-「清潔生產」與「環境化設計」研習會,7-1~7-20。台北:經濟部工業局。
楊泰辰(民90)半導體製造業空氣環境績效指標及指標污染物之建立。新竹縣:國立交通大學碩士論文。
楊義榮(民88) 環境績效評估實務。工業污染防治報導,72,1-21。
經濟部工業局(民86) 技術手冊:電子業建置ISO 14001環境管理系統執行要項。台北市:經濟部工業局。
經濟部工業局(民88a)工業污染防治技術服務計畫-廢棄物交換及清洗生產輔導計畫。台北市:經濟部工業局。
經濟部工業局(民88b) 環境管理系統持續改善指引。台北市:經濟部工業局。
經濟部工業局(民88c) 環境績效評估發展現況及技術介紹。/企業環境報告書研討會。台北市:經濟部工業局。
經濟部工業局(民88d)電路板業整合型技術手冊。台北:經濟部工業局。
經濟部工業局(民89a)清潔生產概論-邁向產業永續發展之路。台北市:經濟部工業局。
經濟部工業局(民89b) 環境績效評估技術與應用。台北市:經濟部工業局。
經濟部工業局(民90) 半導體業清潔生產技術手冊。台北市:經濟部工業局。
董金蓮、蘇華宗、辜振宗(民87)半導體產業製程與用電特性之調查分析。台電工程月刊,599,32-44。
劉君毅(民90)矽甲烷(Silane)特性及風險預防措施。
http://w3.ev.ncu.edu.tw/w3backup/
蔡仲宗(民88) 台灣半導體產業與投資。台研兩岸產業投資,10, 2-8。
蔡宏明(民88) 我國高科技產業發展面對的挑戰與因應對策。經濟情勢評論,5(1),88-110。
鄭介松(民90) 土壤及地下水污染整治法規推動概要。工安環保報導,2,http://she.moeaidb.gov.tw
蕭訓山、葉世銘(民86)半導體廠超純水系統之規劃。電子月刊,3:9,81-85。
聯合報(90.3.15)新竹工業區恐面臨斷水危機。第24版。
聯合報(90.8.1)客雅溪底污染源環保局指向園區。第24版。
謝振瑋(民87) 環境管理新時代--環境績效評估。環境管理報導,8,7-9。
羅達賢(民88.07.02) 台灣高科技產業發展。
http://www.itis.itri.org.tw/forum/content/
羅達賢、呂俊慧(民89) 半導體產業發展對資源運用之影響分析。http://www.itis.itri.org.tw/forum/content2/
顧洋(民88) 高科技產業執行ISO14001績效評鑑。台北市:行政院研究發展考核委員會。
顧洋、王文(民89) 半導體產業之環保考量與永續發展。永續產業資訊雙月刊,4,4-17。
二、英文書目:
Blair, A. & Hitchcock, D.(2001) Environment and Business. London and New York: Routledge.
Byster, L.(1998) Impending Environmental Problem or Opportunity for Change? The High Price of High Tech. http://www.svtc.org/news/
Dalkey, N.(1969) The delphi method: An experimental study of group opinion. CA: Rand
Delbecq, A. L..(1975) Group technique for program planning: A guide to nominal group and delphi processes. NJ: Scott, Foresman and company.
Dodds, O.A.(1997) An insight into the development and implementation of the international environmental management system ISO 14001.In R. Hillary(Eds), Environmental Management Systems and Cleaner Production.(pp.27-35).New York: Wiley.
Crognale, G.(1999a) The Environmental Audit as an effective management tool. Environmental Management Strategies: The 21st Century Perspective (pp.214-255). New Jersey : Prentice Hall.
Crognale, G.(1999b) Environmental Management at A Crossroads: Time for Radical Breakthrough. Environmental Management Strategies: The 21st Century Perspective (pp.2-32). New Jersey : Prentice Hall.
Crognale, G.(1999c) What ISO 14000 Brings to Environmental management and Compliance. Environmental Management Strategies: The 21st Century Perspective (pp.317-368). New Jersey : Prentice Hall.
Hart, J.(1999) Subcommittee 4 Reaches Consensus on EPE Standard. International Environmental Systems Update, 6,5-6.
ISO/FDIS 14031(1999) Environmental Management - Environmental Performance Evaluation - Guidelines.
ISO/FDIS 14032(1999) Environmental Management - Examples of Environmental Performance Evaluation (EPE).
Johnson,G.P.(1997) The 14000 EMS audit handbook. FL : St. Lucie Press.
Kleivane, T.(1999) Environmental Performance Evaluation-The Link Between Management Systems and Reality. In Hitchens, D. M. W. N, Clausen, J.& Fichter, K.(Eds)International Environmental Management Benchmarks. (pp.103-110).
Berlin, New York: Springer, Inc.
Kuhre, W.L.(1997) ISO 14031 Environmental Performance Evaluation. New Jersey: Upper Saddle River.
Thoresen, J.(1999) Environmental Performance Evaluation-A Tool for Industrial Improvement. Journal of Cleaner Production,7,365-370.
Welford, R. (1998) Environmental Auditing. Corporate Environmental Management 1(pp.116-137). London : Earthscan Publication Limited, Inc.
Wright, G.& Rowe, G.(1999) The Delphi Technique as a Forecasting Tool: Issues and Analysis. Applied Geography,15, 353-375.
Young, W.C. (1998) Measuring Environmental Performance. In R. Welford (Eds), Corporate Environmental Management 1(pp.116-137). London: Earthscan Publication Limited, Inc.
Young, W.C. (2000) Towards Sustainable Production and Consumption: from Products to Services.In R. Welford (Eds), Corporate Environmental Management 3(pp.79-108).London: Earthscan Publication Limited, Inc.
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
1. 陳文輝(民86) 半導體製造業工業減廢技術。電子月刊,3(9),115-122。
2. 柯宏澤(民88) 積體電路工業(IC)。產業經濟,217, 49-55。
3. 邱作基(民86) 積體電路工業清潔生產技術指標探討(I)。清潔生產資訊雙月刊,14,25-43。
4. 林茂勳(民86)一般氣體及特殊氣體的供應及監控。電子月刊,3(9),86-92。
5. 呂慶慧、鄭智和、楊維鈞(民90)高科技產業廢棄物資源化技術評析。工業污染防治,77,43-56。
6. 吳秀東、吳修閘(民88b) 建立環境績效評估執行流程及方法介紹。工業污染防治報導,139,6-8。
7. 吳秀東、吳修閘(民88a) 工廠導入環境績效評估實例介紹。環境管理報導,15,19-21。
8. 王興毅(民88) 半導體產業發展現況。工程,72(3),2-8。
9. 陳文輝、吳福安(民86) 半導體工業減廢技術介紹(上)。工業污染防治報導,115,4-6。
10. 黃志彬(民90)半導體廠製造業化學機械研磨廢水特性及處理。工業污染防治,79,125-157。
11. 黃國晉(民89) 台灣半導體產業發展趨勢。零組件雜誌,101,113-128。
12. 黃曉嵐(民86) ISO14031環境績效評估介紹。工業污染防治報導,114,9-10。
13. 楊致行(民88) 環境化設計之作業架構及技術工具。清潔生產資訊雙月刊,27,20-34。
14. 楊義榮(民88) 環境績效評估實務。工業污染防治報導,72,1-21。
15. 董金蓮、蘇華宗、辜振宗(民87)半導體產業製程與用電特性之調查分析。台電工程月刊,599,32-44。