跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(3.233.217.106) 您好!臺灣時間:2022/08/14 15:28
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:張佳蕙
研究生(外文):Chia-hui Chang
論文名稱:矽晶片上二氧化矽的製備與鑑定
指導教授:趙桂蓉趙桂蓉引用關係
指導教授(外文):Kuei-jung Chao
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學系
學門:自然科學學門
學類:化學學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:100
中文關鍵詞:中孔洞二氧化矽纖維旋轉塗佈法浸漬塗佈法
外文關鍵詞:mesoporous silica fiberspin coatingdip coating
相關次數:
  • 被引用被引用:1
  • 點閱點閱:197
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:1
本研究欲將合成液侷限於矽晶片上微米級的高深寬比孔洞陣列中,預期兩相酸性系統所合成出的孔洞性二氧化矽纖維會在每個孔洞中有序列地生長。同樣地,也在矽晶片的淺坑陣列及平坦的矽晶片上生長形態均一的二氧化矽,若能在矽晶片上製備週期性規則排列的二氧化矽顆粒,如此可進一步作開發光子晶體的應用研究。
實驗上利用電化學蝕刻法、溼式蝕刻法,在矽晶片表面形成微米級的孔洞陣列;實驗結果顯示利用此矽陽極處理膜(具有垂直膜片表面之方形孔洞,邊長約為4mm,深度約為100mm)生長的二氧化矽纖維,並非有序生長。另在倒金字塔孔洞,邊長為2mm的淺坑陣列中,反應液存在於淺坑中的多寡及矽晶片表層氮化矽的厚度,皆會影響二氧化矽的生長形態。在平坦的矽晶面上生長二氧化矽,發現(110)矽晶面表面生長二氧化矽的形態為長條狀,而(111)及(110)晶面上的二氧化矽為圓盤和小山丘狀。
目錄
第一章 緒論
1.1 孔洞性二氧化矽 1
1.2 光子晶體 15
1.3 研究的目的及方法 24
第二章 實驗
2.1 藥品 26
2.2 矽陽極處理膜之高深寬比孔道中生長二氧化矽 26
2.2.1矽陽極處理膜之高深寬比孔道的製備 27
2.2.2兩相酸性系統合成中孔洞二氧化矽纖維 32
2.2.3矽陽極處理膜上二氧化矽的生長 37
2.3 矽晶片表面的淺坑陣列中生長二氧化矽 42
2.3.1淺坑陣列的製備 42
2.3.2淺坑中二氧化矽之生長 43
2.4矽晶片表面生長二氧化矽 45
2.4.1矽晶片表面的清洗 45
2.4.2矽晶片表面二氧化矽之生長 47
2.5 鑑定方法 48
2.5.1掃描式電子顯微鏡 48
2.5.2 X光粉末繞射 48
2.5.3 同步輻射X光粉末繞射 49
2.5.4氪氣等溫物理吸附 49
第三章 結果與討論
3.1 矽陽極處理膜上高深寬比孔道中的二氧化矽 51
3.2 矽晶片上淺坑陣列中的二氧化矽 69
3.3 矽晶片表面上的二氧化矽 87
3.4 討論 93
第四章 結論 97
第五章 參考資料 99
參考文獻
[1]Sing, K. S. W.; Everett, D.H.; Haul, R. H.; Moscou, W. L.; Pierotti, R. A.; Rouquerol, J.; Siemieniewska, T. Pure Appl. Chem. 1985, 57, 603
[2]Kresge, C. T.; Leonowicz, M. E.; Roth, W. J.; Vartuli, J. C.; Beck, J. S. Nature 1992, 359, 710.
[3]Schmidt, R.; Hansen, E. W.; Stocker, M.; Akporiate, D.; Fllestad, O. H. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 4049
[4]Brinker, C. J.; Lu, Y.; Sellinger, A.; Fan, H. Adv. Mater. 1999, 11, 579
[5]Beck, J. S.; Vartuli, J. C.; Roth, W. J.; Leonowicz, M. E.; Kresge, C. T.; Schmitt, K. D. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 10835.
[6]Windsor, P. A. in Gray, G. W.; Windsor, P. A. (Eds.) Liquid Crystals and Plastic Crystals, Vol. 1, Ellis Horwood, Chichester 1974
[7]Ekwall, P. in Brown, G. H. (Ed.) Advances in Liquid Crystals, Vol.1 Academic, New York 1975
[8]Karge, H. G.; Weitkamp, J. “Molecular sieves : vol.1: Science and technology”, Springer 1998
[9]Inagaki, S.; Fukushima, Y.; Kuroda, K. J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1993, 680
[10]Marow, F.; Kleitz, F. Microporous and Mesoporius Materials, 2001, 44-45, 671
[11]Yang, H.; Coombs, N.; Sokolov, I.; Ozin, G. A. Nature 1996, 381, 589
[12]Yang, H.;Coombs, N.; Dag, Ö.; Sokolov, I.; Ozin, G. A. J. Mater. Chem. 1997, 7, 1755.
[13]Yang, H.; Coombs, N.; Ozin, G. A. J. Mater. Chem. 1998, 8, 1205
[14]Yang, H.; Kuperman, A.; Coombs, N.; Mamiche-Afara, S.; Ozin, G. A. Nature 1996, 379,703
[15]Aksay, I. A.; Trau, M.; Manne, S.; Honma, I.; Yao, N.; Zhou, L.; Fenter, P.; Eisenberger, P. M.; Gruner, S. M. Science 1996, 273, 892
[16]Hillhouse, H. W.; Okubo, T.; van Egmond, J. W.; Tsapatsis, M. Chem. Mater. 1997, 9, 1505
[17]Martin, J. E.; Anderson, M. K.; Odinek, J.; Newcomer, P. Langmuir 1997, 13, 4133.
[18]Miyata, H.; Kuroda, K. J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 7618.
[19]Huo, Q.; Zhao, D.; Feng, J.; Weston, K.; Burratto, S. K.; Stucky, G. D. Schacht, S.; Schuth, F. Adv. Mater. 1997, 9, 974
[20]Huo, Q.; Margolese, D. I.; Ciesla, U.; Feng, P. ; Gier, T. E.; Sieger, P. ; Leon, R.; Petroff, P. M.; Schuth, F.; Stucky, G. D. Nature 1994, 368, 317
[21]Huo, Q. D.; Margolese, I.; Ciesla, U.; Demuth, D. G.; Feng, P.; Gier, T. E.; Sieger, P.; Chmelka, B. F.; Schuth, F.; Stucky, G. D. Chem. Mater. 1994, 6, 1176
[22]Kleitz, F.; Marlow, F.; Stucky, G. D.; Schuth, F. Chem. Mater. 2001, 13, 3587
[23]Marlow F.; Spliethoff B.; Tesche B.; Zhao D. Adv. Mater. 2000, 12, 961
[24]Marlow, F.; McGehee, M. D.; Zhao, D.; Chmelka, B. F.; Stucky, G. D. Adv. Mater. 1999, 11, 632
[25]Schacht, S.; Huo,Q.; Voigt-Martin, I. G.; Stucky, G.D.; Schuth, F. Science 1996, 273, 768
[26]Huo, Q.; Feng, J.; Schuth, F.; Stucky, G. D. Chem. Mater. 1997, 9, 14
[27]Yablonovitch, E. Phys. Rev. Lett. 1987, 58, 2059
[28]John, S. Phys. Rev. Lett. 1987, 58, 2468
[29]Joannopoulos, J. D.; Meade, R. D.; Winn, J. N. Photonic Crystals, Molding the Flow of Light, Princeton University Press: Princeton, NJ, 1995
[30]Foresi, J. S.; Villeneuve, P. R.; Ferrera, J.; Thoen, E. R.; Steinmeyer, G.; Fan, S.; ]Joannopoulos, J. D., Kimerling, L. C.; Smith, H. I.;Ippen, E. P.; Nature 1997, 390, 143
[31]Leonard, S. W.; van Driel, H. M.; Busche, K.; John, S.; Birner, A.; Li, A. P.; Muller, F.; Gosele, U.; Lehmann, V. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 3063
[32]Lin, S. Y.; Fleming, J. G. A. IEEE J. Lightwave Technol. 1999, 17, 1944
[33]Müller, F.; Birner, A.; Gösele, U.; Lehmann, V.; Ottow, S.; Föll, H. J. Porous Mater. 2000, 7, 201
[34]Happ, T. D.; Kamp, M.; Klopf, F.; Reithmaier, J. P.; Forchel, A. Semicond. Sci. Technol. 2001, 16, 227
[35]Parker, A. R.; McPhedran, R. C.; McKenzie, D. R.; Botten L. C.; Nicorovici, N. A. Nature 2001, 409, 36
[36]www. Tom. Com
[37]蔡雅芝,“淺談光子晶體” 物理雙月刊,1999,二十一卷,445
[38]Yablonovitch, E.; Gmitter, T. J. Phys. Rev. Lett. 1989, 63, 1950
[39]Vlasov, Y. A. ; Astratov, V. N.; Karimov, O. Z.; Kaplyanskii, A. A.;Bogomolov, V. N.; Prokofiewv, A. V. Phys. Rev. Lett. 1997, 55,R13357
[40]Wijnhoven, J. E. G. J.; Bechger, L.; Vos, W. L. Science 1998, 281, 802
[41]Ozin, G. A.;John, S. Naure 2000, 405, 437
[42]Yang, S. M.; Ozin, G. A. Chem. Commun. 2000, 2507
[43]Yang, S. M.; Ozin, G. A. Adv. Funct. Mater. 2001, 11, 95
[44]Holgado, M.; García-Santamaría, F.; Blanco, A.; Ibisate, M.; Cintas, A.; Míguez, H.; Serna, C. J.; Molpeceres, C.; Requena, J.; Mifsud,A.; Meseguer, F.; López, C. Langmuir 1999, 15, 4701
[45]Cregan, R. F.; Mangan, B. J.; Knight, J. C.; Birks, T. A.; Russell, P. St. J.; Roberts, P. J.; Allan, D. C. Science 1999, 285, 1537
[46]高淑琪,碩士論文: “利用電化學蝕刻方法在矽晶片上形成高深寬
比的巨孔洞陣列及費時的製備”,國立清華大學化學所,民89
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top
1. 2. 王泰升:〈中國國民黨的接收「日產」為「黨產」〉,《律師雜誌》,第245期,2000年2月,頁105-111。
2. 23. 陳恆鈞:〈政黨競選經費策略之規劃〉,《中國行政評論》,第7卷第2期,1998年3月,頁121-154。
3. 22. 陳佳吉:〈黨禁開放後我國政黨選舉活動之規範〉,《研考雙月刊》,第21卷1期(1997年2月),頁49-61。
4. 19. 張清溪:〈黨營事業與黨產問題如何解決〉,《新世紀智庫論壇》,第7期,1999年9月30日,頁66-69。
5. 18. 馬瑞金:〈清查黨產?別緊張,說說而已〉,《新新聞周刊》,第750期(2001年7月19-25日),頁72-74。
6. 16. 林水波:〈政黨輪替的憲政影響〉,《立法院院聞》,第28卷9期(2000年9月),頁35-49。
7. 15. 明居正:〈向心競爭與中華民國政黨政治之發展〉,《理論與政策》,第12卷2期(1998年5月),頁142-156。
8. 13. 沈玄池:〈德國政黨經費來源之研究〉,《歐美研究》,第23卷1期(1993年3月),頁39-113。
9. 10. 李濠仲:〈拿稽核當令箭-劉泰英依舊掌控三大控股公司〉,《新新聞周刊》,第757期(2001年9月6-12日),頁42-45。
10. 8. 吳惠林:〈黨營事業應順勢迎向競爭市場的洗禮〉,《經濟前瞻》,第43期,1996年1月5日,頁148-150。
11. 7. 吳釗燮:〈政黨競爭與黨政互動的新局〉,《國策專刊》,第15期(2000年11月),頁17-19。
12. 6. 吳東野:〈德國政黨審議制度之研究-兼論我國之政黨審議〉,《問題與研究》,第33卷7期(1994年7月),頁36-59。
13. 5. 吳東野:〈西方國家的政黨政治理念與運作〉,《問題與研究》,第30卷6期(1991年6月),頁60-76。
14. 4. 吳文程:〈台灣政治轉型理論的分析架構的探討〉,《東吳政治學報》,第4期(1995年),頁135-183。
15. 3. 王業立:〈我國政黨提名政策之研究〉,《政治學報》,第27期(1996年),頁1-36。