臺灣博碩士論文加值系統

本論文研究擬利用刮刀製程(Doctor Blade Process)製備高密度且能與金屬電極在低溫共燒之無收縮氧化鋁基板。在無收縮基板部分主要為利用纖維/玻璃複合材料作為無收縮層(constraint layer)，依次以
0°、90°、180°、270°排列，目的是用來減少或是抑制X/Y軸向之收縮率。配合陶瓷/玻璃複合材料作為緻密層，可增加積層陶瓷體的緻密度，且能直接網印金屬線路，達到減少製程手續及減低成本之功效。並有系統的探討此類微波陶瓷材料其製程組成、方式與微波特性的相關性，提供製程改進的依據。
實驗方法為先將氧化鋁粉體(纖維)及玻璃粉體與分散劑、黏結劑及塑化劑等有機物配成漿料後，經刮刀製程，形成具有足夠強度的生胚薄片，後續再經疊層、網印、燒結等製程，製作出高性質之微波元件。
實驗目標為提升燒結緻密性，並解決玻璃與氧化鋁在高溫反應之問題，以得更高品質的微波特性基板。

目錄 Ⅰ,Ⅱ
摘要……………….. 1
第一章　前言 2
第二章　文獻回顧 3
2.1　低溫共燒陶瓷(LTCC) 3
　　　　2.1.1　LTCC簡介………………………. 3
　　　　2.1.2　LTCC技術之利用………………………. 4
2.2　刮刀成形 5
　　　　2.2.1　刮刀成形概述……………… 5
　　　　2.2.2　影響生胚品質的參數………………………. 6
2.3　SPDR(Split-post Dielectric Resonator)厚膜量測法 9
第三章　實驗步驟 12
　　3.1　漿料製備………………………. 12
　　　　3.1.1　分散液配製……………… 12
　　　　3.1.2　原料選擇……………… 14
　　　　3.1.3　製備玻璃/氧化鋁纖維無收縮層……………………14
　　　　3.1.4　製備玻璃/氧化鋁緻密層……………….……………14
　　3.2　刮刀製程………………………. 15
　　　　3.2.1　刮刀製程… 15
　　　　3.2.2　疊層……………………. 15
　　　　3.2.3　燒結條件………… 15
　　3.3　材料特性量測………………………. 17
　　　　3.3.1　密度、結構與微觀組織………………… 17
　　　　3.3.2　微波特性………………… 17
第四章　結果與討論 18
　　4.1　低溫共燒氧化鋁積層陶瓷基板………………………. 18
　　　　4.1.1　積層氧化鋁基板燒結之XRD分析…………… 18
　　　　4.1.2　Al2O3粉體披覆……………. 25
　　　　4.1.3　sol-gel Ba-B-Si玻璃……… 28
　　　　4.1.4　Fused Ba-Al-B-Si玻璃……………… 33
　　　　4.1.5　Fused Ba-B-Si玻璃與Al2O3預反應……… 34
　　　　4.1.6　結論……… 37
　　4.2　無收縮積層陶瓷基板………………………. 37
　　　　4.2.1　玻璃/陶瓷層…… 37
　　　　4.2.2　玻璃/纖維層………………………………….………55
　　　　4.2.3　玻璃/陶瓷層/玻璃/纖維層…………………..………69
　　　　4.2.4　玻璃/Al2O3(披覆BaAl2Si2O8)層/玻璃/纖維層…… 95
　　4.3　複合積層基板微波介電特性………………………. 97
　　　　4.3.1　介電常數值(K)比較………… 97
　　　　4.3.2　品質因子(Q)比較………………… 102
第五章　結 論 106
第六章　參考文獻 107

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