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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:陳幼欣
論文名稱:低溫共燒無收縮氧化鋁微波介電陶瓷之研究
論文名稱(外文):Study on Non-shrinkage Low Temperature Co-fired Al2O3 Microwave Dielectric Ceramics
指導教授:劉國雄劉國雄引用關係林諭男林諭男引用關係
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2002
畢業學年度:90
語文別:中文
論文頁數:108
中文關鍵詞:低溫共燒陶瓷無收縮基板氧化鋁基板
外文關鍵詞:Low temperature co-fired ceramicNon-shrinkage substrateAl2O3 substrate
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本論文研究擬利用刮刀製程(Doctor Blade Process)製備高密度且能與金屬電極在低溫共燒之無收縮氧化鋁基板。在無收縮基板部分主要為利用纖維/玻璃複合材料作為無收縮層(constraint layer),依次以
0°、90°、180°、270°排列,目的是用來減少或是抑制X/Y軸向之收縮率。配合陶瓷/玻璃複合材料作為緻密層,可增加積層陶瓷體的緻密度,且能直接網印金屬線路,達到減少製程手續及減低成本之功效。並有系統的探討此類微波陶瓷材料其製程組成、方式與微波特性的相關性,提供製程改進的依據。
實驗方法為先將氧化鋁粉體(纖維)及玻璃粉體與分散劑、黏結劑及塑化劑等有機物配成漿料後,經刮刀製程,形成具有足夠強度的生胚薄片,後續再經疊層、網印、燒結等製程,製作出高性質之微波元件。
實驗目標為提升燒結緻密性,並解決玻璃與氧化鋁在高溫反應之問題,以得更高品質的微波特性基板。
目錄 Ⅰ,Ⅱ
摘要……………….. 1
第一章 前言 2
第二章 文獻回顧 3
2.1 低溫共燒陶瓷(LTCC) 3
    2.1.1 LTCC簡介………………………. 3
    2.1.2 LTCC技術之利用………………………. 4
2.2 刮刀成形 5
    2.2.1 刮刀成形概述……………… 5
    2.2.2 影響生胚品質的參數………………………. 6
2.3 SPDR(Split-post Dielectric Resonator)厚膜量測法 9
第三章 實驗步驟 12
  3.1 漿料製備………………………. 12
    3.1.1 分散液配製……………… 12
    3.1.2 原料選擇……………… 14
    3.1.3 製備玻璃/氧化鋁纖維無收縮層……………………14
    3.1.4 製備玻璃/氧化鋁緻密層……………….……………14
  3.2 刮刀製程………………………. 15
    3.2.1 刮刀製程… 15
    3.2.2 疊層……………………. 15
    3.2.3 燒結條件………… 15
  3.3 材料特性量測………………………. 17
    3.3.1 密度、結構與微觀組織………………… 17
    3.3.2 微波特性………………… 17
第四章 結果與討論 18
  4.1 低溫共燒氧化鋁積層陶瓷基板………………………. 18
    4.1.1 積層氧化鋁基板燒結之XRD分析…………… 18
    4.1.2 Al2O3粉體披覆……………. 25
    4.1.3 sol-gel Ba-B-Si玻璃……… 28
    4.1.4 Fused Ba-Al-B-Si玻璃……………… 33
    4.1.5 Fused Ba-B-Si玻璃與Al2O3預反應……… 34
    4.1.6 結論……… 37
  4.2 無收縮積層陶瓷基板………………………. 37
    4.2.1 玻璃/陶瓷層…… 37
    4.2.2 玻璃/纖維層………………………………….………55
    4.2.3 玻璃/陶瓷層/玻璃/纖維層…………………..………69
    4.2.4 玻璃/Al2O3(披覆BaAl2Si2O8)層/玻璃/纖維層…… 95
  4.3 複合積層基板微波介電特性………………………. 97
    4.3.1 介電常數值(K)比較………… 97
    4.3.2 品質因子(Q)比較………………… 102
第五章 結 論 106
第六章 參考文獻 107
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